Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828765 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 293828765
Weinlese: 2013
Vertical furnace Process: ALD LP 2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es ist ein fortschrittliches Werkzeug, das entwickelt wurde, um genaue, wiederholbare und zuverlässige Ätz- und Ascheschritte in der Halbleiterherstellung zu ermöglichen. Es ist mit einer leistungsstarken Plasmaquelle, Roboterarmbewegung und einer Lastschloßkammer zum einfachen Be- und Entladen von Proben gebaut. Die Plasmaquelle soll ein gleichmäßiges Plasma erzeugen, das zur Oxid-, Nitrid- und Polysiliziumätzung fähig ist. Sein Robotikarm ist in der Lage, eine präzise Probenmanipulation mit einer Rückkopplungsschleife zu erhalten, um die Platzierungsgenauigkeit der Proben zu gewährleisten. Die Lastschloßkammer von TEL INDYPLUS bietet eine effiziente und kostengünstige Lösung für die Beladung von Wafern. Es verfügt über zwei austauschbare Wafer-gekühlte Stufen und eine interne Gasmischeinheit, die mehrere Gase für spezielle Ätz-/Ascheanforderungen bereitstellen kann. Darüber hinaus verfügt TOKYO ELECTRON INDY PLUS über ein Fast Response Gas Field-Effect Transistor (FET) Monitoring System, das die Gaskonzentrationen kontinuierlich überwachen kann, um eine optimale Prozesssteuerung zu gewährleisten. TEL INDY PLUS wird durch vollständig realisierte Rezepte unterstützt, die entwickelt werden, um die Ätz-/Aschestufen zu steuern und auszuführen. Es verfügt auch über ein Datenmanagementsystem, das alle Daten für zukünftige Prozessanalysen überwachen, speichern und archivieren kann. Darüber hinaus unterstützt Indy Plus eine breite Palette von Spezialwerkzeugen, um die Prozesskontrolle weiter zu verbessern. Die Werkzeuge umfassen eine Locket-Gas-Dosiereinheit, einen integrierten nachgeschalteten Sensor zur Abscheideregulierung und einen HF-Plasmagenerator. INDYPLUS ist ein sehr wertvolles Werkzeug in der Halbleiterherstellung, da es entworfen ist, um maximale Leistung und Ausbeute mit minimalem Eingang zu bieten. Sein robustes Design und effizienter Betrieb geben Kunden die Möglichkeit, qualitativ hochwertige ICs mit kleinen Fußabdrücken und hohen Erträgen schnell zu produzieren. Darüber hinaus machen seine benutzerfreundliche Oberfläche und umfassende Vielseitigkeit es für Fabs jeder Größe geeignet, von klein bis groß. TEL Indy Plus ist ein technologisch fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der präzise Ätz- und Aschelösungen für Halbleiterherstellungsanwendungen bereitstellen kann. Es ist ein wertvolles Werkzeug in der Branche mit robustem Design, effizientem Laden und umfassender Prozesssteuerung und Datenverwaltung.
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