Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828767 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist eine hochentwickelte Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die für die präzise Materialabtragung und die dielektrische Filmabscheidung entwickelt wurde. Dieses System bietet ein breites Anwendungsspektrum, von Grundätzen/Dotieren/Abscheiden für Halbleiterbauelemente bis hin zum High-End-Plasmaätzen für Kupferleitungsmuster in fortschrittlichen Verpackungsdesigns. TEL INDYPLUS-Einheit bietet sowohl hohe Geschwindigkeit und Präzision, so dass sehr wiederholbare Ergebnisse. Der Kern der TOKYO ELECTRON INDY PLUS Maschine ist der Touchscreen-PC, der die Hardwarekomponenten beherbergt, aus denen das Datenerfassungs- und Steuerungstool besteht. Dieser Touchscreen-PC ist mit fortschrittlicher Prozesssteuerungssoftware ausgestattet, mit der der Anwender schnell und einfach präzise Parameter für die jeweilige Anwendung konfigurieren kann. Der PC enthält auch eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, wie automatisierter Trainingsmodus für Anwender auf Expertenebene, Echtzeitüberwachung und vieles mehr. INDYPLUS Asset kann je nach Prozess mit einer Vielzahl von Tools konfiguriert werden. Es werden zwei Arten von Ätzern angeboten, der Toggle-Ätzer und der Side-Ätzer. Beide Ätzsysteme bieten eine Reihe programmierbarer orbitaler und vertikaler Bewegungen, die eine präzise Steuerung der Ätzrate, Selektivität und Gleichmäßigkeit ermöglichen. Für Trockenätzen bietet das Modell TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS einen fortschrittlichen Gasflussregler, der eine schnelle und präzise Durchflussregelung für alle Ätzgase sowie einen Alarm Annunciator für schnelle Alarmreaktion und Rückmeldung ermöglicht. Zusätzlich ist die Plasmakammer mit einem erweiterten HF-gesteuerten Merkmalssatz ausgestattet, der die Gaszusammensetzung, Konzentration, Druck und Strömung steuert, um hochgenaue Ätzprofile zu liefern. Für einen erhöhten Durchsatz umfasst das Gerät automatisiertes Be- und Entladen von Wafern mit einer Wafer-zu-Wafer-Bearbeitungszeit von unter 10 Sekunden. Für Filmabscheidungsanwendungen bietet das Indy Plus-System eine Vielzahl von Abscheidungsquellen wie gefilterte Vakuumbögen, Sputterkathoden und Verdampfungsquellen. Diese Quellen verfügen über eine einstellbare Leistung und eignen sich für eine Vielzahl von Materialien, von Metallen bis hin zu polymeren und organischen Materialien. Darüber hinaus ermöglicht die Onboard-Source-Überwachungseinheit die vollständige Kontrolle und Rückmeldung des Abscheidungsprozesses. Die Kombination aus Hochleistungs-Hardware, flexibler Software und einer Vielzahl leistungsstarker Werkzeuge macht TOKYO ELECTRON Indy Plus zu einer idealen Lösung für eine Vielzahl von Ätz- und Abscheidungsanwendungen. Unabhängig davon, ob Sie ein fachkundiger Benutzer sind oder grundlegende Ätz-/Dotierungs-/Abscheidungsfunktionen benötigen, bietet die TOKYO ELECTRON INDYPLUS Maschine schnelle, wiederholbare Ergebnisse und ermöglicht gleichzeitig komplexe Prozessentwicklung und -optimierung.