Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828769 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist eine Ätz- und Aschemaschine, die in der Halbleiterindustrie für die fortschrittliche Substratverarbeitung eingesetzt wird. Das System ist in der Lage, Ätzprozesse wie Tiefenreaktives Ionenätzen (DRIE), Trockenätzen und Plasmaätzen durchzuführen. Es ist auch zum Aschen fähig, was zur Entfernung von Nebenprodukten und anderen unerwünschten Materialien auf der Substratoberfläche verwendet wird. TEL INDYPLUS ist ein fortschrittlicher Plasmaätzer, der Zeit und Kosten reduziert und gleichzeitig einen qualitativ hochwertigen und zuverlässigen Ätzprozess gewährleistet. Es handelt sich um eine integrierte Maschine, die eine Vakuumkammer, ein Gassteuerwerkzeug, eine Substratheizung und einen Plasmagenerator kombiniert. Die Anlage besteht aus zwei Teilen: TOKYO ELECTRON INDY PLUS Ätzer und Indy Asher, und es ist in der Lage, Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm zu verarbeiten. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS Ätzer weist eine hochpräzise kapazitiv gekoppelte HF-Anregungsquelle auf; dies ermöglicht die effiziente Erzeugung eines stabilen und gleichmäßigen Plasmas, was zu zuverlässigen und wiederholbaren Prozessergebnissen führt. Das Modell ist auch mit einem fortschrittlichen digitalen Steuerungsprozessor ausgestattet, der eine präzise und programmierbare Steuerung des Ätzprozesses wie Ätztiefe, Form und Profil ermöglicht. Der Indy Asher verwendet einen schnellen und zuverlässigen Aschevorgang, um organische, metallische und anorganische Materialien von Substraten zu entfernen. Der Ascher ist in der Lage, Oberflächen schnell zu reinigen, mit einer Präzision und Wiederholbarkeit, die konventionellen Aschertechniken überlegen ist. Es sorgt für eine gleichmäßige Temperaturverteilung in der Plasmakammer, was eine gleichmäßige Ätzrate ermöglicht. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, die die Prozesseffizienz erhöhen und die Ergebnisse des Ätz- und Ascheprozesses verbessern. Es bietet eine enge Kontrolle des Drucks, des Gasflusses, der Temperatur und der HF-Leistung, sodass Benutzer ihre Verarbeitungsparameter genau optimieren und ihre eingestellten Bedingungen leicht wiederholen können. Darüber hinaus verfügt das System über eine Gasmanagementeinheit zur effizienten Versorgung der im Ätz- und Ascheprozess verwendeten Gase und eine integrierte Fernüberwachungsanzeige zur Echtzeitüberwachung des Prozesses. TEL INDY PLUS ist ein fortschrittliches und zuverlässiges Ätz- und Aschewerkzeug, das Kunden eine hochpräzise und wiederholbare Substratverarbeitung bietet. Es ist ideal für den Einsatz in einer Reihe von Halbleiterindustrien, so dass Benutzer in einem Bruchteil der Zeit verbesserte Prozessergebnisse erzielen können.