Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828773 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein Ätzer/Ascher, der auf die Herstellung von Halbleiterbauelementen ausgerichtet ist, die für eine überlegene Auflösung und Ergebnisse ausgelegt sind. TEL INDYPLUS ist ein 50-Watt-Plasma-gestützter Si-basierter Ätzer/Ascher, der niedrig konzentriertes Chlorgas als Ätzmittel verwendet. Das Gerät verfügt über zwei unabhängige Ionenquellen, die optimiert sind, um überlegene Ätzprozesse an positiven und negativen Photoresists zu liefern. Die Ätzquelle verwendet eine schnelle thermische Oxidationsquelle, die entwickelt wurde, um niederfrequente Drift zu eliminieren und einen höheren Durchsatz zu erzielen. Darüber hinaus umfasst TOKYO ELECTRON INDY PLUS eine breite Palette von Funktionen, die speziell entwickelt wurden, um gemeinsame Herausforderungen bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen anzugehen, einschließlich Kantenrauhigkeit, Rauschreduzierung, Substratgleichförmigkeit und Gesamtmaßgenauigkeit. Darüber hinaus nutzt INDYPLUS ein unabhängiges, rückgekoppeltes Steuerungssystem, um präzise Ätzraten und Parameter zu gewährleisten. Diese Funktion ermöglicht eine genaue Musterkontrolle, reduziert den Bedarf an zusätzlichen Iterationen oder Prozessschritten und erhöht die Wiederholbarkeit des Prozesses erheblich. Die Einheit ist mit einer erweiterten arithmetischen Kurvenanpassungsfunktion ausgestattet, wodurch es einfach ist, rückverfolgbare, nahtlose Ätzmuster für jede Prozessanforderung genau zu erstellen. INDY PLUS verwendet ein High-End-PECVD-Verfahren, um Dünnschichtschichten zu erzeugen, die das darunter liegende Substrat haften und schützen. Dieses Verfahren nutzt einen plasmaverbesserten, niederfrequenten CVD (LFCVD) -Reaktor, der qualitativ hochwertige Beschichtungsschichten mit gleichmäßiger Schrittabdeckung und ausgezeichneter Haftung herstellen kann. In Verbindung mit der fortschrittlichen Optikmaschine ermöglicht dies die Herstellung einer Vielzahl von Gerätestrukturen mit komplizierten Eigenschaften und engen Toleranzen. Dieser Ätzer/Ascher wird auch mit einem erweiterten Toolset geliefert, um das Experimentieren und Anpassen von Ätz- und Ascheprozessen zu ermöglichen. Darüber hinaus können mehrere Pumpen konfiguriert werden, um eine breite Palette von Ätz- und Aschefunktionen zu ermöglichen, einschließlich sequentielles Ätzen und Remote Ashing. Diese Eigenschaften, zusammen mit seiner ausgezeichneten Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit, macht Indy Plus zu einer idealen Ätzer/Ascher-Lösung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.