Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828774 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist eine halbautomatische, kompakte Ätz-/Aschemaschine, die in der Lage ist, eine Vielzahl von Ätz- und Aschebedürfnissen in der Halbleiterindustrie zu erfüllen. Es verfügt über automatisierte Ätz- und Ascheraten von bis zu 40 Zyklen/h für Ätz- und gesamte Aschezykluszeiten von bis zu 16 Minuten und unterstützt eine Vielzahl von Substraten, darunter Siliziumwafer, Flachbildschirme, Aluminiummetallisierungsschichten und Leiterbahnen. Das System wiegt ca. 950 kg, mit einer Gesamtstellfläche von ca. 1200 × 1100 mm. Bediener können auf die Maschine über einen Computer zugreifen, der sowohl Windows als auch Linux unterstützt. Das Bedientool ist eine proprietäre Software, die von TEL entwickelt wurde. TEL INDYPLUS besteht aus einer offenen Kassettenladestation, einem Maschinentisch, einer Aschekammer, einer Ätzkammer, Vermögenssteuerungen und Gaspaneelen. Die offene Kassettenladestation fungiert als automatisiertes Be- und Entladezentrum für Kassetten mit bis zu 25 Substraten. Der Maschinentisch befindet sich direkt rechts vom Kassettentisch und beherbergt alle wesentlichen Komponenten des Modells. Dazu gehören der HF-Generator, Gaspaneele, Gasleitungen, Lastschlösser und Vakuumpumpen. Die Ätzkammer befindet sich direkt unterhalb des Maschinentisches. Es verfügt über eine automatisierte untere Aufzugskassette Ladevorrichtung, so dass der Bediener die Substratposition während des Ätzens genau steuern kann. Es verfügt auch über Dual-RF-Lieferanten mit Load-Lock-Funktionen, um die Bearbeitungszeiten weiter zu verbessern. Der Ascheabschnitt beherbergt die Aschekammer mit eigenen Quarzrohren. Das System ist in der Lage, schnell zu aschen, was die Verarbeitungszeit minimiert. Es verfügt auch über eine effiziente rückseitige Auspuffeinheit, die gewährleistet, dass die Substrate richtig ashed. Die Maschine ist auch mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, einschließlich Drucksensoren, Emissionsüberwachungen und Lecksuchsystemen. Darüber hinaus ist es kompatibel mit Standard-Wafer-Handling-Werkzeug und Zubehör wie Sonden, Pinzetten, Handschuhe, Pins und Quarzboote. TOKYO ELECTRON hat dafür gesorgt, dass TOKYO ELECTRON INDY PLUS Werkzeug ist extrem benutzerfreundlich und effizient, so dass es eine beliebte Wahl für viele Halbleiterunternehmen auf der ganzen Welt.