Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828775 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 293828775
Weinlese: 2016
Vertical furnace Process: ALD LP 2016 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher zur Herstellung von Halbleiterscheiben. Es ist das neueste in einer Familie von Ätzgeräten von TEL. Die Maschine ist in der Lage, eine Reihe von Aufgaben im Zusammenhang mit Ätzen und Aschen für 300mm und 200mm Wafer zu handhaben. Seine fortschrittlichen Funktionen bieten zuverlässige Lösungen für kritische integrierte Schaltungs-Prozessschritte. Die Maschine ist mit einer hocheffizienten keramischen HF-Kammer ausgestattet, die eine bessere Ätzselektivität, Genauigkeit und Gleichmäßigkeit bietet. Es verfügt außerdem über ein Lastschloss und einen Prozesskasten, wodurch der Wafer ohne Umweltbelastung auf das Gerät geladen werden kann, wodurch die Materialreinheit gewährleistet ist. Sein Prozessgasfördersystem ist außerdem an eine Nassbank zur effizienten Gasförderung und Temperaturregelung angeschlossen. Es verfügt auch über eine hochauflösende Kamera mit Bildaufnahmefähigkeiten für die Waferinspektion, um Prozessfehler zu vermeiden. TEL INDYPLUS-Lösung beinhaltet auch die dynamische Ozon Removal Unit (DORS) -Technologie des Unternehmens. Die Maschine filtert das durch die Ätzprozesse entstandene unerwünschte Ozongas heraus und findet so nicht nur sicherer, sondern auch effizienter. Das Werkzeug zur automatischen Mess- und Messtechnik in situ ist auch effektiv, um die Prozesszykluszeit zu reduzieren und die Produktqualität über eine Reihe integrierter Schaltungstechnikknoten zu gewährleisten. Die Steuerung erfolgt über eine benutzerfreundliche Oberfläche, die eine einfache Einrichtung und Wartung der Maschine ermöglicht. Es kann auch mit optionalen Automatisierungsgeräten konfiguriert werden und bietet eine einfachere und einfachere Bedienung für die Anpassung der Produktionsanforderungen. Das Modell bietet Echtzeitdaten für die Fehlerbehebung von Aktivitäten zur Prozessoptimierung und verfügt über einen intuitiven Wartungsmodus, der eine schnelle Implementierung präventiver Wartungsroutinen ermöglicht. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON INDY PLUS ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher ideal für Halbleitergewebe. Die hochmodernen Funktionen wurden entwickelt, um zuverlässige Prozessergebnisse bei maximaler Materialreinheit und hervorragender Betriebszeit der Ausrüstung zu gewährleisten. Das System ist einfach zu warten, kostengünstig und kommt mit einer Reihe von automatisierten Funktionen, um eine reibungslose Ausführung der integrierten Schaltungen Produktionsprozesse zu ermöglichen.
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