Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9179439 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 9179439
Wafergröße: 12"
Vertical furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein Ätzer, auch als Ascher bekannt, der in der Halbleiterforschung und -entwicklung verwendet wird. Die Geräte sind vollautomatisiert und bieten ein hohes Maß an Prozesskontrolle, um wiederholbaren Betrieb und Qualität zu gewährleisten. TEL INDYPLUS verfügt über eine erweiterte Steuerungsfähigkeit und einen hohen Durchsatz, um eine Vielzahl von Ätzmethoden zu unterstützen. Das System soll es Forschern ermöglichen, Prozessbedingungen direkt zu ändern, um Ätzrezepte für eine Vielzahl von Materialien und Gerätestrukturen zu optimieren. TOKYO ELECTRON INDY PLUS bietet eine überlegene Temperaturregelung und umfasst ein Hochleistungs-Heißfutter, das eine stabile Arbeitstemperatur beibehält, um die Genauigkeit zu maximieren. Das Gerät verfügt über einen digitalen Smart Timer mit programmierbarer Auflösung und Steuerung des Ätzprozesses, wodurch der Benutzer mehr Flexibilität und Präzision erhält. Mit sechs Gaseinlässen hat TOKYO ELECTRON INDYPLUS die Fähigkeit, Mehrgaschemie und Prozessbedingungen in einer Vielzahl von Ätzanwendungen zu optimieren. TEL Indy Plus ist mit einer speziellen Gasliefermaschine ausgestattet, um die Anzahl der während des Ätzprozesses verwendeten Gase zu verwalten. Dieses Gaslieferwerkzeug kann über eine Webbrowser-Schnittstelle fernüberwacht und eingestellt werden. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS bietet auch Echtzeit-Trendverfolgung von Druck, Temperatur, Durchfluss und anderen wichtigen Ätzparametern, um die Prozesssicherheit zu maximieren. TEL INDY PLUS Ätzer wurde entwickelt, um Kompatibilität mit verschiedenen Substratgrößen und Ladekonfigurationen. Mit einem Lastschloss mit großer Kapazität und bis zu sechs Laststeckplätzen pro Lauf kann TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS für kleine und große Waferläufe skaliert werden. Die Anlage verfügt auch über eine Vielzahl von Sicherheitsverriegelungen, Alarmen und Überwachungstechnologien, um einen sicheren und effizienten Betrieb in jeder Forschungsumgebung zu gewährleisten. Es wurde entwickelt, um Ausfallzeiten zu minimieren und die Produktivität für erfolgreiche und wiederholbare Verarbeitungsanwendungen zu optimieren. INDY PLUS ist ein zuverlässiges und effizientes Ätzmodell, das eine vollständige Prozesskontrolle bietet, um konsistente und reproduzierbare Ergebnisse zu liefern. Voll automatisiert und hochgradig skalierbar, ist die Ausrüstung auf die Bedürfnisse einer breiten Palette von Forschungs- und Entwicklungslabors ausgelegt. Mit einem fortschrittlichen digitalen Smart Timer und einem ausgeklügelten Gasliefersystem ist Indy Plus eine optimale Wahl für Ätzprozesse.
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