Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9211650 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein flexibler, hochmoderner Kundenätzer. Es ätzt/asmt effektiv eine Vielzahl von Laminaten, Substraten und Metallen für die Herstellung von Mikroelektronik und anderen Anwendungen. Es verfügt über mehrere Prozess- und Materialfähigkeiten, darunter eine breite Palette von Substratgrößen, viele Prozesskombinationen, eine einfach zu bedienende Benutzeroberfläche und ist mit einer Inline-Kameraausrüstung für Hochtreue-Auflösung ausgestattet. TEL INDYPLUS bietet das breiteste Prozessspektrum einer beliebigen TEL fortgeschrittenen Ätzausrüstung. Dieser Bereich umfasst Plasmaätzen, Rückätzen, Nassätzen und Strukturieren. Das Werkzeug hat auch die Flexibilität, eine breite Palette von Systemlaminaten und Substraten im Bereich von 0,25 Mikron bis 5 Mikrometer unterzubringen. Besonders vorteilhaft sind die Substratätzfähigkeiten für Hersteller von Mikroelektronik, bei denen häufig hochauflösende Muster verwendet werden. Die benutzerfreundliche Benutzeroberfläche bietet Anwendern die volle Kontrolle über alle Aspekte des Ätzprozesses. Es ermöglicht die Parameteranpassung und das Ausführen von Wiederholprozessen. Eine MaxVUE Werkzeugbibliothek bietet Zugriff auf eine breite Palette von Taktoptionen, Pulsbreiten und HF-Kräften, die für Simulationen von Vorteil sind, die perfektioniert werden müssen. Die In-Line-Kameraeinheit gibt Benutzern die Möglichkeit, jedes geätzte Teil in Echtzeit anzuzeigen, sowie das optische Messen des Ätzprozesses. Dadurch wird sichergestellt, dass die Kontrolle über Critical-Dimension (CD) während der Produktion aufrechterhalten bleibt. Dies vereinfacht den Ätzprozess weiter und ermöglicht es Anwendern, den Fortschritt auf dem gesamten Substrat zu überwachen. Die fortschrittliche Diagnostik des TOKYO ELECTRON INDY PLUS Tools umfasst eine Mehrpunkt-Plasmasonde, die CD-Messung und Verifizierung über den gesamten Wafer ermöglicht. Das Werkzeug kann auch erkennen, ob die Ätzrate innerhalb des voreingestellten Toleranzbereichs verbleibt. TOKYO ELECTRON INDYPLUS ist für eine Vielzahl von Ätzbedürfnissen gut geeignet. Es ist einfach einzurichten und zu bedienen und durch sein breites Spektrum an Prozessfähigkeiten ist es eine ideale Wahl für die Herstellung von Mikroelektronik und andere prozessgesteuerte Anwendungen. Die Inline-Kameramaschine, die fortschrittliche Diagnose und das umfassende Angebot an Material- und Prozessoptionen machen sie zu einer robusten Wahl für verschiedene Ätzanforderungen.
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