Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9254679 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus Ätzer ist eine fortschrittliche Ascher-Technologie für verschiedene Substratverarbeitungstechniken, einschließlich Plasmaätzen, Trockenätzen, Aschen und Ionenfräsen. Das Gerät nutzt eine Kombination aus hochpräziser Bewegung und HF-Leistungssteuerung, um überlegene Ätzergebnisse in einer Vielzahl von Ätzanwendungen und -materialien zu erzielen. Es ist mit mehreren Prozesskammern für verschiedene Vakuumtechniken konfiguriert und in der Lage, große Substrate bis 300mm Größe zu handhaben. Das System verfügt über eine präzise Regelung von Wafertemperatur, HF-Leistung, Gasdruck, Gasdurchflussraten und Ätzdruck. Dies sorgt für eine hervorragende Qualität und ein gleichmäßiges Ätzprofil. Das Gerät verwendet einen einzigartigen Zweiblatt-Hubmotor-Mechanismus in Kombination mit proprietären Druck- und Gasdurchflusssteuerungen und ist somit ideal für empfindliche, hochauflösende Ätzaufgaben. Seine effiziente Gasströmungskonfiguration gewährleistet eine gleichmäßige Ätzabdeckung und isolierte Bereiche für eine hohe Wiederholbarkeit. Die Maschine bietet im Vergleich zu anderen Ätzsystemen eine sehr geringe Fließgeschwindigkeitstoleranz und verbesserte Prozessgleichmäßigkeit und kann sowohl dicke als auch dünne Folien ätzen, was eine Feindefinition und ein gezielteres Ätzen ermöglicht. Ein eingebauter Verschluss sorgt zudem für maximale Prozesskontrolle und eignet sich somit für sensible Anwendungen. Darüber hinaus ist der TEL INDYPLUS Ätzer äußerst flexibel und bietet umfassende Funktionen zur Optimierung von Ätzprozessen in einer Vielzahl von Ätzprofilen. Es bietet eine breite Palette von Vakuum-Prozesstechnologien, einschließlich Einkammer- und Mehrkammerätzen, und ermöglicht Änderungen der Gasgemischadresse während des Ätzvorgangs. TOKYO ELECTRON INDY PLUS Ätzwerkzeug ist auch hocheffizient, ermöglicht einen schnelleren Durchsatz und schnellere Wende für Substratverarbeitungsaufgaben. Seine hohe Leistung macht es ideal für kurzfristige Produktionsläufe oder Prototypenarbeiten. Die modulare Bauweise ermöglicht es Ätzern, Prozesskammern auszutauschen, ohne die Position anderer Prozesskomponenten zu stören, was einen effizienten Aufbau für Produktionsprozesse ermöglicht. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Indy Plus eine hochentwickelte Ätzanlage, die eine sehr präzise Steuerung der Ätzparameter bietet, um qualitativ hochwertige Ätzergebnisse auf einer Vielzahl von Substratmaterialien zu liefern. Mit seiner zuverlässigen Leistung, einer breiten Palette von Prozesstechnologien und einer effizienten Prozesssteuerung ist der TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS Ätzer eine ideale Wahl für Ätzanwendungen.