Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9261886 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist eine hochmoderne industrielle Trockenätzausrüstung, die eine hervorragende Leistung in Bezug auf Ätzgenauigkeit, Durchsatz und Betriebskosten bietet. Das System ist für tiefe Vias, Grabenfüllung und laterales Ätzen von Halbleiterwerkzeugen und anderen Bauelementen bestimmt. Es verfügt über ein fortschrittliches Kammerdesign, das eine fortschrittliche Plasmatechnologie und überlegene Prozesswiederholbarkeit ermöglicht. Die Einheit ist in der Lage, eine breite Palette von Prozessfenstern zu unterstützen, darunter: Oxid, Poly-Si, Nitrid, Parylen/Pary, Sputtern und chemische Dampfabscheidung. Der Mikroherstellungsraum wird, mit dem Mehrniveau hochtechnologische Sensorbildschirmsteuerungen und eine einheitliche Rezeptprogrammiermaschine völlig automatisiert. TEL INDYPLUS basiert auf der neuesten Technologie, einschließlich einer hochauflösenden Hochdruckkammer, einem Hochtemperatur-Wafersubstrathalter und einem fortschrittlichen Wärmebehandlungsofen. Es verfügt auch über ein Gaslieferwerkzeug mit geschlossenem Kreislauf, das saubere und konsistente Ätzprozesse fördert. Der Laserstrahl-Profiler (LBPP) ermöglicht ein hochpräzises Ätzen mit präziser und gleichmäßiger Tiefenkontrolle über die Oberfläche. TOKYO ELECTRON INDY PLUS verwendet auch fortschrittliche optische Reflektometer (ORP) und Optimierer (OQP) Systeme, die den Anwendern detaillierte Informationen über die Qualität des Ätzprozesses liefern. Darüber hinaus verfügt das Modell TEL INDY PLUS über ein integriertes Diagnosegerät, das bei der Erkennung von Systemfehlern in Echtzeit hilft. Mit dieser Diagnoseeinheit können Bediener und Ingenieure Prozessprobleme schnell und genau erkennen. Die Leistung der INDYPLUS Ätzmaschine bietet das ultimative Maß an Präzision und Genauigkeit und ermöglicht präzise und wiederholbare Ätzergebnisse. Es ist das perfekte Werkzeug für ein- und mehrschichtiges Ätzen und ist das ideale Ätzinstrument für Kunden, die branchenführende Genauigkeit und Konsistenz benötigen.