Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9267594 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 9267594
TEOS Furnace Chamber.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein Ätzer/Ascher, der für eine Vielzahl von Waferbearbeitungsaufgaben konzipiert ist. Es ist mit Funktionen ausgestattet, die bei der Erstellung einer Vielzahl von Wafer-basierten Geräten helfen. Es verwendet ein Trockenätzverfahren, das es ermöglicht, Schichten verschiedener Materialien wie Silizium, Oxide, Nitride, Metalle und Polymere effektiv und effizient zu ätzen. Seine anisotrope Ätzrate sorgt dafür, dass Schichtdicken präzise gesteuert werden können. Der Ätzer/Ascher soll auch chemisches Schwänzen und gleichmäßige Muster auf den größten Flächen reduzieren. Der Ätzprozess wird in einer vollautomatischen, hoch kontrollierbaren und tiefen Umgebung abgeschlossen. Die Einrichtung besteht aus einer Ätzkammer, einer Pumpkammer, einem Gaskasten und einer Abgasanlage. Die Kammer wird auf die angestrebte Temperatur erwärmt und ein Gasgemisch in die Ätzkammer eingeleitet. Die Temperatur in der Kammer wird dann nach Bedarf eingestellt, um einen durchgängigen Ätzvorgang aufrechtzuerhalten. Druck und Durchfluss können auch während des Ablaufs des Prozesses eingestellt werden, was eine präzise Steuerung der Ätzrate ermöglicht. TEL INDYPLUS verfügt zudem über eine Trockenätzmethode, die einen zusätzlichen Nassprozess überflüssig macht. Dies führt zu Kosteneinsparungen für den Hersteller sowie zu einem Umweltnutzen. Darüber hinaus wird der Herstellungsprozess beschleunigt, da nicht auf den Abschluss eines Nassätzzyklus gewartet werden muss. TOKYO ELECTRON INDY PLUS ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, einschließlich einer automatisierten Überwachungseinheit. Diese Maschine ermöglicht eine Echtzeit-Überwachung des Ätzprozesses und warnt einen Bediener im Falle einer anormalen Situation. Darüber hinaus ermöglicht Indy Plus die vollständige Rückverfolgbarkeit des Herstellungsprozesses, sodass Kunden das Ätzverfahren, die verwendeten Materialien und Parameter während des gesamten Prozesses überprüfen können. Dies ermöglicht eine präzise Prozessverfolgung, die sicherstellt, dass die besten Qualitätsstandards eingehalten werden. Insgesamt ist INDYPLUS ein Ätzer/Ascher, der Präzision, Zuverlässigkeit und Komfort bietet. Seine automatisierten Funktionen ermöglichen es ihm, hochpräzise und präzise Produkte auf Waferbasis herzustellen, die konsistent und von höchster Qualität sind. Seine Sicherheitsmerkmale machen es auch zu einem idealen Ätzer/Ascher für die Herstellung einer Vielzahl von Wafer-basierten Geräten.
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