Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9315271 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein Ätzer/Ascher für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Es ist eine fortschrittliche Ätzplattform auf Basis einer Prozessmodulplattform, die mehrere Kammern und ein Wafer-Transportsystem enthält. TEL INDYPLUS-Modell kann als Ascher und Ätzer verwendet werden und kann mit verschiedenen Parametern betrieben werden, um die verschiedenen Anforderungen der Präzisionsätzverarbeitung für Halbleiterbauelemente zu erfüllen. TOKYO ELECTRON INDY PLUS bietet einen hohen Durchsatz von 100mm Verarbeitung mit Wärmedurchlauf bis 850℃ mit Ausgängen von 50-350W. Dies ermöglicht eine optimale Ausnutzung für die Substratherstellung bei der gewünschten Temperatur. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS hat auch eine Ziel-Substrat-Gleichmäßigkeit von +/-43,5 nm über der Oberfläche. Es verfügt über eine automatische Verriegelung und Sicherheitsfunktionen, einschließlich eines optischen Sensors, der die Wafertemperatur überwacht, einen hochauflösenden Hintergrundmonitor und einen Rüstungsschutz, um Personal vor potentieller Strahlung und anderen Gefahren zu schützen. TOKYO ELECTRON Indy Plus nutzt die CVD-Ätztechnologie. Mit dieser Technologie werden Dünnschichtschichten aus Silizium, Oxid, Nitrid und anderen Materialien geätzt. Es ist in der Lage, hochauflösende, tiefe und gleichmäßige Gräben mit einer einzigen Maske und wiederholbaren Ergebnissen von Wafer zu Wafer zu erzeugen. TEL INDY PLUS verfügt über mehrere spezialisierte Prozesse. Es ist in der Lage, Partikelprofile mit monodispersiven Reinigungsprozessen zu erfassen, lithographische Musterergebnisse mit Plasmaverbesserungsprozessen zu verbessern und Oberflächen zu glühen, um Ätzschäden zu reduzieren. INDY PLUS bietet zudem ein Gasfördersystem, das eine schnelle Prozesseinrichtung und stabile Ätzprozesse ermöglicht. TEL Indy Plus kann verschiedene Wafergrößen und -typen verarbeiten. Es ist in der Lage, Substrate bis 200 mm Durchmesser und ein maximales Wafergewicht von 1,5 kg zu verarbeiten. Es ist auch in der Lage, empfindliche und teure Substrate wie Saphir- und Oxidscheiben zu handhaben. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS verfügt außerdem über eine Graphitstufe und Spannfutter zur Reduzierung der Temperaturschwankungen, einen Niederdruckträger und einen HF-Generator zur Prozesssteuerung. INDYPLUS verfügt über hervorragende Prozessqualitätsfähigkeiten. Es verfügt über Merkmale wie Bypass-Frequenzregelung, Grenzfrequenzregelung und eine Oszilloskopfunktion. Es bietet auch eine Reihe von Lichtquellenkonfigurationen für verbesserte Bildgebung, zusammen mit einer ausgeklügelten Vision-Software, die Linienbreitenvariationen, Ätzratenvariationen und Kontaminationen erkennt. Indy Plus etcher/asher ist ein leistungsstarker und fortschrittlicher Ätzprozessor für die Präzisionsätzbearbeitung von Halbleiterbauelementen. Es kann ein schnelles und zuverlässiges Ätzen der empfindlichsten und schwierigsten Substrate ermöglichen. TOKYO ELECTRON INDYPLUS ist ideal für Ätzprozesse wie Silizium, Oxid, Nitrid, HF, CF und Photoresist. Es verfügt über eine Reihe von Funktionen wie hoher Durchsatz, hochauflösendes Ätzen und Gleichmäßigkeit, verschiedene Substratgrößen und -typen, ein Gaszufuhrsystem und eine ausgeklügelte Vision-Software für eine verbesserte Bildgebung.