Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9353223 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist eine von TEL (TOKYO ELECTRON) hergestellte Ätz-/Aschermaschine, die für die High-End-Produktion von elektronischen Geräten ausgelegt ist. Es ist ideal für die physikalische Bedampfung (PVD) und das Ätzen von Bauelementen aus einer Vielzahl von Materialien, insbesondere Halbleiter- und organischen Materialien. TEL INDYPLUS verfügt über ein Dual-Source-System, das die gleichzeitige Beschichtung beider Seiten des Substrats ermöglicht. Mit dieser Funktion kann der Benutzer sicher bleiben, dass beide Seiten des Geräts die gewünschten Spezifikationen erfüllen, ohne zusätzliche Schritte zur separaten Verarbeitung jeder Seite durchführen zu müssen. TOKYO ELECTRON INDY PLUS bietet auch mehrere Rezepte, die leicht vorprogrammiert und für die zukünftige Verwendung gespeichert werden können. Dies ermöglicht eine genaue Wiederholbarkeit der für eine konsistente Geräteproduktion notwendigen Ätzparameter. TOKYO ELECTRON INDYPLUS verwendet die bewährte synchrone Kammerätztechnik, die ein gleichmäßiges Ätzen über das gesamte Substrat gewährleistet. Dadurch wird sichergestellt, daß unerwünschte Rückstände aus den geätzten Materialien auf ein Minimum reduziert werden und auch die für das Ätzen erforderliche Zeit durch die doppelseitige Ätztechnik reduziert wird. Darüber hinaus bieten Advanced Process Control (APC) -Funktionen innerhalb der Einheit dem Benutzer die volle Kontrolle über den Ätzprozess und ermöglichen unter vielen anderen die gezielte Abstimmung von Ätzgrößen wie Druck, Druckgradient, Kammertemperatur und Temperaturgradient. Diese Maschine bietet eine Vielzahl von Optionen für die Nachätzverarbeitung, einschließlich der Verwendung von Nass- und Trockenreinigungsprozessen zur Feinabstimmung der Oberfläche. Weitere Funktionen wie Lift Pin und High-Aspect-Ratio Graben stehen ebenfalls zur weiteren Verfeinerung zur Verfügung. INDYPLUS verfügt auch über eingebaute Sicherheitsfunktionen wie Interlocks und ein Vakuumwarnwerkzeug, das den Bediener warnt, falls das Vakuum bestimmte voreingestellte Werte überschreitet. Insgesamt ist TEL Indy Plus eine ideale Bereicherung für die High-End-Produktion elektronischer Geräte. Es ist zuverlässig und hocheffizient und bietet eine Vielzahl von Funktionen, die eine optimierte und wiederholbare Produktion dieser Geräte immer wieder ermöglichen.