Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9358355 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein Ätzer/Ascher, der häufig für Nassätz- und Trockenätzprozesse verwendet wird. TEL INDYPLUS ist eine 3-Zonen-Ausrüstung mit zwei Prozesskammern und einer Transferkammer, wobei jede Prozesskammer eine unabhängige Plasmaquelle und einen evakuierbaren Verschluss aufweist. TOKYO ELECTRON INDY PLUS eignet sich gut für Forschung und Industrie und kann zur Verarbeitung von Substraten bis 200 mm Größe verwendet werden. TOKYO ELECTRON INDYPLUS 'Prozessleitsystem ermöglicht eine einfache Einrichtung und Umschaltung von Ätzrezepten. Das Gerät ist mit vielen verschiedenen Gasen kompatibel und ermöglicht eine Vielzahl von Ätzprozessen, darunter Naßätzen, reaktives Ionenätzen (RIE), Metallätzen, Innenschichtätzen und rückseitiges Ätzen von Wafern. Der Ätzprozess kann auch angepasst werden, um kundenspezifische Prozessbedingungen wie Kammerdruck, Plasmaleistung, Prozesszeit und Gasfluss zu schaffen. Indy Plus verfügt auch über programmierbare Fensterläden, so dass Benutzer Substrate mit Ätzbedingungen korrelieren können. Dadurch kann der Anwender den Ätzprozess entsprechend den Substrateigenschaften wie Permittivität, Dicke, Art der Materialien usw. optimieren. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS verfügt über eine Temperaturregelung, die eine Temperaturerhaltung während des Ätzprozesses ermöglicht. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der Prozesstemperatur und trägt zur Gewährleistung konsistenter Ätzergebnisse bei, wodurch Materialschwankungen minimiert werden. TEL Indy Plus ist für die Kompatibilität und Prozessüberwachung bestens gerüstet. Die Maschine ist kompatibel mit TEL TEM-Controller, die In-Prozess-Überwachung der Ätzqualität, wie Ätzrate bietet. Darüber hinaus unterstützt INDY PLUS Wafer-Transferprotokolle, die eine Übertragung von Substraten außerhalb der Kammer zur Nachätzanalyse ermöglichen. Schließlich ist INDYPLUS für die Sicherheit konzipiert, mit einem ferngesteuerten Not-Aus-Knopf sowie einem auslaufsicheren Verschluss-Design. TEL INDY PLUS ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der zuverlässige Ätzergebnisse, Prozesssteuerung und Prozessüberwachung bietet. Seine Vielseitigkeit macht es zu einem wertvollen Werkzeug für viele Forschungs- und Industrieanwendungen, von Wet Etching bis Wafer Backside Etching und mehr. Mit seinen fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ist TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS ein Kraftpaket für diejenigen, die mit Präzision und Zuverlässigkeit ätzen möchten.