Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9375629 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein Ätzer/Ascher, der viele Funktionen hat, die es ideal für verschiedene Anwendungen in der Halbleiterherstellungsindustrie machen. Es wurde entwickelt, um ein effektives und effizientes Ätz- und Ascheverfahren für die Halbleiterherstellung bereitzustellen. Es ist ein Mehrstationsätzer/Ascher, der zum physikalischen/chemischen Ätzen und Aschen verwendet werden kann, um Resist- und andere Materialien aus einem Wafer zu entfernen. TEL INDYPLUS Ausrüstung ist entworfen, um einen effizienten und zuverlässigen Ätz- und Ascheprozess zu bieten, der frei von Verunreinigungen ist. Das System ist mit mehreren Merkmalen ausgestattet, die ein präzises Ätzen und Veraschen der gewünschten Schicht gewährleisten. Zu diesen Merkmalen gehört eine hochpräzise Fördereinheit, die in der Lage ist, die Förderrichtung, die Leitungsgeschwindigkeit und die Höhe genau zu steuern. Die Maschine ist auch mit einer leistungsstarken Steuerung ausgestattet, die zur Steuerung der gesamten Ätz- und Ascheprozesse verwendet werden kann. Der Regler kann verwendet werden, um verschiedene Parameter wie Temperatur, Druck und Gasfluss zu überwachen, um optimale Ergebnisse zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON INDY PLUS ist mit einer Reihe von Prozesskammern ausgestattet, einschließlich einer Prozesskammer für die thermische Reaktion und einem Substratrotator. Die thermische Reaktionsprozesskammer ist für eine optimale Umgebung zum Ätzen und Aschen ausgelegt. Es ist in der Lage, hohe Temperaturen zu erzeugen und die Entfernung der gewünschten Schicht zu gewährleisten. Der Substratrotator ist so konzipiert, dass er maximale Homogenität und Produktivität beim Ätzen und Aschen bietet. TEL INDY PLUS ist in der Lage, Metall- und Polysiliziumschichten sowie Dielektrika zu ätzen und zu aschen. Es ist mit einem speziellen Ätzgas zum Ätzen und Aschen von Metallen ausgestattet und kann auch Ionenimplantationsprozesse durchführen. Das Werkzeug wurde entwickelt, um eine hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit zu gewährleisten, und es verfügt über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, einschließlich einer Notabschalteinrichtung, um den Prozess im Notfall zu stoppen. Das Modell ist mit einer Vielzahl von Wafergrößen kompatibel und ist benutzerfreundlich mit einer grafischen Benutzeroberfläche gestaltet. Es ist auch mit einer Datenlogging-Ausrüstung ausgestattet, die es Benutzern ermöglicht, den Ätz- und Ashing-Prozess-Verlauf zu überprüfen. Das System ist auch entworfen, um eine lange Lebensdauer zu gewährleisten, da es mit Teilen ausgestattet ist, die leicht ausgetauscht oder repariert werden können, um seine Leistung zu erhalten. Indy Plus ist eine ideale Lösung für Ätz- und Ascheprozesse in der Halbleiterherstellung. Mit seiner robusten Konstruktion, Zuverlässigkeit und benutzerfreundlichen Funktionen ist es sicher, einen zuverlässigen Ätz- und Ascheprozess mit optimalen Ergebnissen zu bieten.