Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9375630 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein innovativer Ätzer/Ascher für die Herstellung von Halbleiterbauelementen, der hochpräzise und präzise gestaltet ist. Das Gerät nutzt fortschrittliche Datenkontrolle, automatische Probenübertragung und Echtzeit-Monitiring aller Ätz- und/oder Ascheprozesse. TEL INDYPLUS ist in der Lage, Einzelwafer und Batch-Verarbeitung mit einem Durchsatz von bis zu 1000 Wafern pro Stunde. TOKYO ELECTRON INDY PLUS bietet eine hoch kontrollierte thermische Umgebung mit präziser Temperaturregelung (50 ° C bis 500 ° C) und ausgezeichneter Gleichmäßigkeit auf der gesamten Oberfläche der Ätz-/Aschekammer. Das System bietet zudem eine chemische Abgabesteuerung mit präziser Abgabe reaktiver Gase und Ätz-/Aschechemie. Dies garantiert maximale Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit der Ergebnisse. INDYPLUS ist mit einer speziellen Energiequelle ausgestattet, die hochpräzise Anpassungen des Energieprofils der zum Ätzen und/oder Aschen verwendeten Ionen ermöglicht. Dies ermöglicht eine verbesserte Steuerung des Ätz-/Ascheprozesses bei besserer Abstimmung zwischen Ätz-/Aschezeit, Anisotropie und Profilabrollung. Diese Funktion ermöglicht eine größere Kontrolle über den Ätz-/Aschevorgang, was eine höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS beinhaltet eine automatisierte Spin-Wafer-Station zur präzisen Wafer-Rotation für gleichmäßiges Ätzen/Aschen auf dem gesamten Wafer. Das Gerät verwendet auch eine automatisierte Lastschloß-Transferkammer für einen effizienten Probentransfer. Dadurch entfällt der manuelle Be- und Entladevorgang und es wird sichergestellt, dass an jeder Probe der gewünschte Ätz-/Aschevorgang erreicht wird. INDY PLUS ist sehr benutzerfreundlich. Es ist mit einer vollfarbigen grafischen LCD-Benutzeroberfläche ausgestattet, die eine einfache Programmerstellung und Änderung von Ätz-/Ashing-Parametern ermöglicht. Dies ermöglicht eine schnelle und einfache Einrichtung und Bedienung für die Einzelwafer- und Batch-Verarbeitung. Schließlich wird Indy Plus von qualitativ hochwertigen Kundenservices unterstützt. Die Maschine wird vollständig von einem großen Team erfahrener Servicetechniker unterstützt und unterstützt, die bei Problemen sofort Unterstützung leisten können. TEL bietet auch umfassende Schulungs- und Zertifizierungsprogramme an, die die notwendige Unterstützung bieten, um ihr Werkzeug optimal für optimale Ergebnisse zu nutzen.