Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9384128 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus ist ein fortschrittliches Ätzwerkzeug, das für hohe Präzisionsbearbeitungsanforderungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es kann zum Ätzen, Aschen und Planarisieren von Schichten mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit verwendet werden. Das Werkzeug beinhaltet eine Mehrzonenkammerdesign für überlegene Job-Gleichmäßigkeit. Es gibt sieben verschiedene Zonen, die jeweils unterschiedlichen Drücken, Temperaturen und Zusammensetzungen standhalten können, um im Laufe des Ätzprozesses ein gleichmäßiges Ergebnis zu erzielen. Es ist in der Lage, durch eine Vielzahl von Materialien wie Oxidfilme, Metalle, Polysilizium, Resist und mehr zu ätzen. TEL INDYPLUS ist auch mit einer fortschrittlichen Gas-Ätztechnologie ausgestattet, die die Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit des Ätzprozesses erhöht. Dieses Gasätzverfahren manipuliert den Gasstrom, um die Gleichmäßigkeit des Ätzprofils zu erhöhen, was den Durchsatz erhöht und die Ätztiefe von flachen Gräben und anderen Merkmalen verbessert. TOKYO ELECTRON INDY PLUS bietet auch eine breite Palette von Ätzrezepten, wobei die Betriebskosten aufgrund ihrer hohen Zuverlässigkeit und Haltbarkeit niedrig gehalten werden. Die programmierbare Logiksteuerung gewährleistet eine präzise Prozesssteuerung und sorgt für eine benutzerfreundliche Bedienung des Werkzeugs. Der Controller ist so konzipiert, dass er problemlos in bestehende MIS-Anlagen integriert werden kann, da er mit einer Vielzahl von Kommunikationsprotokollen kompatibel ist. Es steht eine externe Remote-Computerschnittstelle zur Verfügung, mit der Benutzer den Ätzprozess über eine webbasierte Schnittstelle überwachen können. Benutzer können auch auf einen sicheren Webserver zur Prozessverwaltung und -analyse zugreifen. So erhalten Anwender wichtige Ätzdaten, um die Verarbeitbarkeit für eine verbesserte Prozessoptimierung zu analysieren und zu verstehen. Das Werkzeug verwendet eine Kantenring-Technologie, um den Ätzerdurchsatz zu erhöhen und die Prozesszykluszeit zu reduzieren. Dies funktioniert, indem ein geglühtes Aluminiumoxid verwendet wird, um eine zylindrische Verbindung zwischen Elektrode, Dielektrikum und Metall zu bilden. Der geglühte Aluminiumoxid-Randring ist undurchlässig für Ätzgase und widersteht dem Ätzen, was mehr Kantenkontrolle und tiefere Ätzungen ermöglicht. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS kommt auch mit fortschrittlicher Technologie, um große komplexe Strukturen zu analysieren und zu verarbeiten. Diese Technologie ermöglicht es Anwendern, bei besserer Gleichmäßigkeit und Kontrolle über den Ätzprozess genauer zu ätzen. Das Werkzeug ist wartungsfreundlich und bietet modernste Technologie für Präzisionsätzen.