Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293627658 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy ist eine von TEL hergestellte Ätz-/Aschemaschine, die für hohe Produktionsraten und Präzisionsätzprozesse in der Halbleiter-, MEM- und Nanotechnologie-Industrie ausgelegt ist. Das System ermöglicht das Ätzen kritischer Merkmale mit hoher Genauigkeit und ist mit automatisierten Prozesssteuerungsfunktionen für verbesserte Stabilität und Zuverlässigkeit ausgestattet. TEL Indy Asher verfügt über eine Dual-Mode-Prozesskammer mit oberer und unterer Gasverteilung für optimale Prozessflexibilität. Die obere Prozesskammer dient zur Abscheidung und ist mit einem HF-Generator, einer Duschdüse und einer beheizten Spule ausgestattet. Die untere Kammer dient zum Ätzen und ist mit einem HF-Generator und einer Duschdüse ausgestattet. Dies ermöglicht eine gleichzeitige Prozesssteuerung und Überwachung sowohl der Abscheidung als auch des Ätzens, was die Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit des Prozesses verbessert. TOKYO ELECTRON Indy Asher kann 200mm und 300mm Wafergrößen sowie Sondergrößen wie 4 „oder 8“ handhaben. Das Gerät ist auch mit intelligenten Lastregelkammern ausgestattet, die stabile Prozessbedingungen aufrechterhalten und die Partikelerzeugung reduzieren können. Es unterstützt auch sowohl lineare als auch nichtlineare Ätzprozesse. Indy Asher Maschine ist mit hochpräzisen Bewegungssteuerungssystemen wie Hochgeschwindigkeitsstufe, Autofokus und XYZ-Drehstufe für präzise Positionierung ausgestattet. Eine Reihe automatisierter Prozessrezeptsteuerungsfunktionen tragen zur Erhöhung des Prozessdurchsatzes und zur Verbesserung der Produktqualität bei. Es verfügt auch über ein Touch-Panel für die Prozessüberwachung und -steuerung sowie ein erweitertes Datenspeicherwerkzeug für die Auftragsverfolgung und Produktionsaufzeichnungen. Um Prozesssicherheit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten, ist TEL/TOKYO ELECTRON Indy Asher mit Prozess- und Fehlerdiagnostik, Temperaturregelungssystemen und Wafer-by-Wafer-Prozesssteuerung ausgestattet. Die Anlage ist auch mit einer Reihe von verschiedenen Gasen kompatibel, einschließlich NF3, CF4 und NH4ClF, um mehrschichtiges Ätzen und Abscheiden zu ermöglichen. Insgesamt wurde TEL Indy Asher entwickelt, um anspruchsvolle Prozessfähigkeiten, genaue und wiederholbare Ätzprozesse und zuverlässige Prozesskontrolle bereitzustellen. Es ist perfekt für fortgeschrittene MEMS, Halbleiter und Nanotechnologie Anwendungen, die Präzisionsätzen erfordern.