Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293648515 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy ist ein Hochleistungs-Diffusionsätzer/-ascher, der speziell für Halbleiterverarbeitungsanwendungen entwickelt wurde. Mit Funktionen wie hohe Ätzrate, Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Präzisionssteuerung von wichtigen Prozessparametern kann diese Ausrüstung helfen, überlegene Halbleiterbauelementherstellungsleistung sowohl in digitalen als auch in analogen Anwendungen zu erzielen. TEL Indy Ausrüstung kann konfiguriert werden, um eine Vielzahl von Materialien zu verarbeiten, einschließlich Silizium, Metalle, Oxide und Nitride, je nach Anwendung. Für Silizium ist das System in der Lage, dicke Filme mit einem breiten Bereich von Ätzraten von µm bis sub-µm zu verarbeiten, und es kann eine überlegene Ätzgleichmäßigkeit von +/- 5% über die gesamte Waferoberfläche erreichen. Diese Vorteile führen zu verbesserten Wafererträgen, höheren Durchsätzen und niedrigeren Produktionskosten. TOKYO ELECTRON Indy ist in zwei Modellen erhältlich, die beide einen geringen Platzbedarf und einen modularen Aufbau aufweisen, der die Integration in bestehende Halbleiterverarbeitungsumgebungen erleichtert. Der primäre Unterschied zwischen den beiden Modellen ist die Plasmaquelle, entweder RF/DC oder RF/Mikrowelle, wodurch sie für eine Vielzahl von Substraten und plasmabasierten Prozessen geeignet ist. Indy Maschine ist mit erweiterten Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um Bediener und die Umwelt zu schützen, einschließlich eines Monitorfensters, Oberflächensuchsensoren und Entlüfter mit Ozonentfernungsfunktion. Softwarefunktionen wie ein grafisches Bedientool und Prozessmanagement ermöglichen eine vollständige Modellautomatisierung. Darüber hinaus ermöglicht das In-situ-Überwachungssystem von TEL/TOKYO ELECTRON Indy-Geräten die Echtzeit-Analyse von Waferparametern, was die Prozessüberwachung und -verwaltung verbessert. TEL Indy ist ein leistungsstarkes Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen und kann Unternehmen zugute kommen, die eine zuverlässige und präzise Verarbeitung für ihre Geräteentwürfe benötigen. Mit seinen fortschrittlichen Sicherheits- und Automatisierungsfunktionen kann die Maschine die Erträge verbessern und gleichzeitig die Produktionskosten senken sowie die Umweltsicherheit gewährleisten.