Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293654427 zu verkaufen
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ID: 293654427
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Furnace, 12"
Process: ALD-SiN
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy ist ein Ätz-/Ascher-Gerät der nächsten Generation, das Anwendern Präzision, Genauigkeit und Zuverlässigkeit beim Ätzen oder Aschen von Substraten bietet. Dieses leistungsstarke Tool ist mit der neuesten Technologie von TEL ausgestattet, um höchste Leistung bei Ätz-/Ascheprozessen zu gewährleisten. TEL Indy ermöglicht sowohl Nass- als auch Trockenätzprozesse sowie Asche- und photochemische Prozesse. Diese erhöhte Prozessflexibilität ermöglicht es Benutzern, die exakte Ätz-/Aschedefinition zu erreichen, die sie für ihr Substrat benötigen. TOKYO ELECTRON Indy ist mit einem Dual-Load-Lock-Design konzipiert, das das gleichzeitige Be- und Entladen von Substraten für eine schnellere Verarbeitung ermöglicht. Darüber hinaus bietet Indy ein patentiertes „Lift-down“ Wafer-Transportsystem zum sicheren Entfernen und Beladen der Substrate. Diese Funktion reduziert das Kratzen und bietet eine bessere Prozessgenauigkeit. Die robuste 3-stufige Vakuum-Turbopumpe von TEL/TOKYO ELECTRON Indy mit ölfreiem Träger und hohem Durchsatz sind von unschätzbarem Wert für innovative Prozesse, die schnelle Verarbeitungsgeschwindigkeiten mit minimalen Substratschäden erfordern. TEL Indy verfügt über ein 3-Zonen-Kammerdesign zur präzisen Temperaturregelung und gleichmäßigen Verarbeitung. Hochpräzise Bewegungsregler bieten hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit für nanoskalige Ätz-/Ascheprozesse. TOKYO ELECTRON Indy bietet auch eine Reihe von erweiterten Automatisierungsfunktionen, einschließlich Fernzugriff für Support und Wartung, Multiarray-Verarbeitungsfunktionen und Software für den vollautomatischen Betrieb des Geräts. Schließlich ist Indy die einzige Ätz-/Aschermaschine mit integrierter Sicherheitsfunktion. Der Stahlrahmen umschließt das gesamte Werkzeug und minimiert mögliche Gerätegefahren. TEL/TOKYO ELECTRON Indy verfügt auch über Sensoren, die potenzielle Gasaustritte überwachen und die Anlage bei gefährlichen Bedingungen stoppen. Abschließend ist TEL Indy die ideale Wahl für das Ätzen und Aschen von Substraten, die hohe Genauigkeit, Präzision und Zuverlässigkeit erfordern. Mit seinem Dual-Load-Lock-Design, einer 3-Zonen-Kammer, hochpräzisen Bewegungsreglern und fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen bietet TOKYO ELECTRON Indy die besten Ätz- und Ascheergebnisse in der Branche.
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