Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293658581 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy ist eine hochmoderne automatisierte Ascher/Ätzer-Ausrüstung, die ein einfaches und effizientes Ätzen von Halbleiterwafersubstraten ermöglicht. Dieses vollautomatisierte System ist in der Lage, unterschiedliche Ätzprozesse (Korrosion, Passivierung, Photoresist usw.) für eine Vielzahl von Wafermaterialien und -größen zu verwenden, wodurch es sehr vielseitig einsetzbar ist. Zu den fortschrittlichen Funktionen gehören ein computergesteuertes Frontend mit einer Plattform für die Materialhandhabung, eine bildgebende Einheit zum Navigieren und Lokalisieren von Wafern und ein leistungsstarker Generator zum Ätzen. TEL Indy ist speziell für maximalen Durchsatz konzipiert, mit mehreren Prozesszyklen und einer schnellen Waferübertragungszeit sowie einer reduzierten Verschmutzungsrate, um sicherzustellen, dass Wafer genau, schnell und sauber geätzt werden. Die Maschine verfügt über ein großes Prozessspektrum mit Wafergrößen von 50 mm bis 300 mm. Es ist für die Handhabung von Wafern mit bis zu drei Schichten Beschichtung, ermöglicht das Ätzen von Hochleistungsmaterialien. TOKYO ELECTRON Indy bietet einen schnellen und einfachen Prozess, der mit dem Laden des Wafers in das Futter beginnt und anschließend die Waferoberfläche für die Bildgebung markiert. Anschließend wird das bildgebende Werkzeug zum Ausrichten des Wafers verwendet. Dadurch kann der Ätzprozess beginnen, wobei der leistungsstarke Generator und mehrere Prozesszyklen das Substrat schnell ätzen. Nach Beendigung des Prozesses wird der Wafer entladen und für den nächsten Schritt vorbereitet. Indy bietet durch seinen automatisierten Prozess ein Höchstmaß an Sicherheit. Die Anlage verfügt über ein industrielles Sicherheitsmodell, das einen Käfig und ein Paar von Sicherheitsbarrieren umfasst, um die Sicherheit des Benutzers in Gegenwart starker Säuren und anderer lithographischer Chemikalien zu gewährleisten. Die Ausrüstung beinhaltet auch einen Not-Aus-Knopf bei versehentlichen Aussetzern. Darüber hinaus bietet TEL/TOKYO ELECTRON Indy wartungsarmen Betrieb mit einfachen Wartungsfunktionen wie automatische Waferüberwachung, automatischer Düsenaustausch und automatische Prozesskontrollen. Das System verfügt auch über integrierte Datenspeicherung, so dass Hersteller ihre Daten und Qualitätsprüfungen zur weiteren Analyse speichern können. TEL Indy ist ein wertvolles Werkzeug in der Halbleiterindustrie aufgrund seiner fortschrittlichen Ätzfähigkeiten und seines einfach zu bedienenden Designs. Die einzigartigen Eigenschaften des Geräts machen es zu einer ausgezeichneten Option für präzises und effizientes Ätzen einer breiten Palette von Halbleiterscheibensubstraten.