Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293751273 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy ist ein vollautomatischer Ätzer/Ascher, der für eine kostengünstige und hochpräzise Verarbeitung entwickelt wurde. Diese Ausrüstung wird für eine Reihe von Behandlungen in der Halbleiterindustrie verwendet, einschließlich Resistaschen, Nitridätzen, Oxidätzen, Polyätzen, Metallätzen und selektives Ätzen. TEL Indy ist auf optimale Leistung, Präzision und Zuverlässigkeit für eine Reihe von Prozessanforderungen zugeschnitten. TOKYO ELECTRON Indy hält bis zu 4 Prozesskammern und kann sowohl Metall- als auch dielektrische Schichten aufnehmen. Dies macht es für eine Vielzahl von Prozessanforderungen geeignet, einschließlich Quarzätzen, Polyresistststreifen, Substratreinigung und dielektrischem Ätzen. Dieses Gerät bietet auch eine Auswahl an Plasmaleistungsquellen, einschließlich HF-, PECVD- und ICP-Quellen. Das Indy-Schnittstellenmodul verfügt über einfach zu bedienende Panels, die eine Reihe von Betriebsparametereinstellungen und Alarme ermöglichen. Ein integriertes Reinraum-Umweltkontrollsystem schützt die Geräte vor Verunreinigungen. Mit Techniken wie Deep Reactive Ion Etching (DRIE) kann TEL/TOKYO ELECTRON Indy mit Merkmalsgrößen ätzen, die feiner sind als mit herkömmlichen Ätzmethoden erreicht. TEL Indy kommt mit einer integrierten Rezeptverwaltungseinheit, die die Speicherung mehrerer Rezepte für die Wiederholbarkeit des Prozesses ermöglicht. Die automatisierte Wafer-Handhabungsmaschine ist auch für einfache Bedienung ausgelegt und bietet Schutz vor Partikelverunreinigungen. TOKYO ELECTRON Indy bietet ein hohes Maß an Leistung und Zuverlässigkeit zu einem erschwinglichen Preis. Es ist eine ideale Wahl für Präzisionsätzen in der Halbleiterforschung und -herstellung. Es ist auch ideal für Widerstand gegen Asche, Polyätzen und Nassätzen/Plasmaätzen Anwendungen. Indy ist eine hocheffiziente, kostengünstige und zuverlässige Lösung für Präzisionsätzanforderungen der Halbleiterindustrie.