Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293754737 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy (nachstehend TEL Indy genannt) ist ein High-End, Hochdurchsatz-Ätzer/Ascher, der in der Lage ist, Oxidätzen, Polysiliziumätzen und Waferaschen. TOKYO ELECTRON Indy wird mit einer lokal gelieferten 3-achsigen Tischplattenkammer und einer branchenführenden Steuerungsausrüstung konstruiert. Die Kammer ist aus Edelstahl des Grades 316 gefertigt und mit einer Keramikfolie am Boden und an den Seiten beschichtet, um eine maximale Wärmedämmung zu gewährleisten. Im Inneren der Kammer wird das Substrat von einem spezialisierten elektropolierten Quarz-Suszeptor getragen, der mit einer Heizplatte und drei Elektroden für eine effiziente Anwendung eines Plasmaätzens ausgestattet ist. Indy verfügt über eine breite Palette operativer Funktionen, die zur Optimierung seiner Prozesse und zur Bereitstellung einer umfassenden Lösung beitragen. Das System verfügt über eine ultraschnelle Verladung für effizientes Materialhandling. Eine ausgeklügelte Gasfördereinheit ermöglicht die volle Kontrolle von Durchflussraten, Druck, Temperatur und Zusammensetzung. Darüber hinaus kann eine vielseitige Prozessrezept-Management-Maschine bis zu 20 Parameter aufzeichnen, um konsistente und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Das hocheffiziente Plasmaquellendesign des Werkzeugs bietet einen geringen Stromverbrauch, niedrige Betriebskosten und eine lange Lebensdauer. Dies wird durch den Einsatz einer optimierten CW-Magnetronquelle in Verbindung mit fortschrittlicher Sensortechnologie erreicht. Dies gewährleistet einen zuverlässigen Betrieb bei gleichzeitiger Verringerung der defekten Substratabstoßung. TEL/TOKYO ELECTRON Indy verfügt auch über ein fortschrittliches Monitoring-Asset mit Echtzeit-Prozesssteuerung. Dadurch wird sichergestellt, dass das Modell den gesamten Prozess verfolgen und optimieren kann, um optimale Ergebnisse zu erzielen. Zusätzlich hilft die Echtzeit-Temperaturregelung, Zieltemperaturen aufrechtzuerhalten und ermöglicht ein wiederholtes Ätzen unabhängig von der Starttemperatur. Das Gerät verfügt über ein ergonomisches Design, das eine einfache Bedienung ermöglicht. Es verfügt über eine optimierte Benutzeroberfläche mit einem intuitiven Display und einem vereinfachten Bedienfeld. TEL Indy unterstützt auch eine Vielzahl von Datenanalyse- und Protokollierungsfunktionen, um hohe Anforderungen an die statistische Prozesskontrolle zu erfüllen. Insgesamt bietet TOKYO ELECTRON Indy Ätzer/Ascher erstklassige Leistung und zuverlässige Ergebnisse beim Oxidätzen, Polysiliziumätzen und Waferwaschen. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und sein innovatives Design ermöglichen es ihm, ständig auf dem neuesten Stand der Prozesse mit diesen Materialien zu bleiben.