Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293821710 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy ist eine Art Ätzer/Ascher, der zum Entfernen von unerwünschtem Material von einer Substrat- oder Substratoberfläche verwendet wird. Es ist eine computergesteuerte Maschine, die in drei Hauptteile unterteilt ist: Ätzkammer, Rückseite und Prozesssteuerung und Kommunikation. Die Ätzkammer ist dort, wo der Ätzvorgang stattfindet. Es ist eine abgedichtete Kammer mit einer gasförmigen Atmosphäre und kann an die spezifischen Ätzanforderungen des Bedieners angepasst werden. Das Prozeßgas strömt über Überkopfgasauslässe in die Kammer, während das Substrat über Schüttgutlader in die Kammer überführt wird. Der Ätzprozess kann durch Prozessgenehmigungen gesteuert werden, die Temperatur, Druck, Plasmaleistung und andere Parameter steuern. Auf der Rückseite des Ätzers/Aschers erfolgt die Prozesssteuerung. Es besteht aus einer Steuerung, Stromversorgung, Thermoelement, Vakuumpumpe und anderen Systemkomponenten. Die Steuerung kommuniziert mit dem Rechner, der den Ätzprozess steuert und nimmt Anpassungen der Prozessparameter entsprechend den Anweisungen des Bedieners vor. Die Stromversorgung liefert den Strom für den Ätzprozess, während das Thermoelement und die Vakuumpumpe die Temperatur und den Druck in der Ätzkammer überwachen und aufrechterhalten. Der Ätzprozess erfordert auch Prozesssteuerung und Kommunikation. Das mit dem Ätzer verbundene System kann mit dem Hauptprozessleitrechner und anderen Systemkomponenten kommunizieren. Dies geschieht über Kommunikationsprotokolle wie RS-232, Profibus und TCP/IP. Es ermöglicht dem Bediener auch, die Ätzparameter anzuzeigen und zu ändern und den Ätzprozess über ein Netzwerk zu überwachen. Insgesamt ist TEL Indy ein effizienter Ätzer/Ascher, der eine präzise Kontrolle über den Ätzprozess bietet. Es ist in der Lage, verschiedene Arten von Substraten mit einer Reihe von verschiedenen Ätzgasen zu ätzen, so dass die Herstellung von genauen und fein detaillierten Produkten. Darüber hinaus ermöglichen die Funktionen der Prozesssteuerung und -kommunikation den Betreibern, ihre Produktqualität zu maximieren und die Verarbeitungszeiten zu verkürzen.
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