Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293824557 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es bietet eine fortschrittliche Spezialisierung für hohe Seitenverhältnisätz- und Veraschungsprozesse. Für Präzisionsätzen und Aschen verfügt TEL Indy über drei unabhängige Ätz-/Aschequellen, die separat gesteuert werden können, sowie eine laserinterferometrische Bühnennavigation, die eine höhere Wiederholbarkeit und verbesserte Fertigungsergebnisse ermöglicht. TOKYO ELECTRON Indy hat einen maximalen Prozessdruck von 10Torr, eine maximale Fähigkeit von 2MHz HF-Leistung und eine digitale Impedanz-Steuereinheit, um eine präzise Steuerung von Bias-Potentialen zu ermöglichen. Darüber hinaus bietet Indy mit seiner breiten Palette an Werkzeugkonfigurationen und innovativer Orientierungssteuerung eine überragende Flexibilität. Dies ermöglicht eine bessere Kontrolle von Ätz- oder Ascheanwendungen über eine Vielzahl von Formen, Größen und Materialien. TEL/TOKYO ELECTRON Indy ist mit einer Vielzahl von Prozessgasen und Substraten kompatibel und verbessert seine Fähigkeit, anspruchsvolle Ätz-/Ascheanforderungen zu erfüllen. Darüber hinaus optimiert das Design mehrerer Prozesskammern von TEL Indy die Trennung zwischen verschiedenen Prozessen, was einen höheren Durchsatz und eine längere Werkzeugverfügbarkeit ermöglicht. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Indy ein fortschrittlicher, hochspezialisierter Ätzer/Ascher, der eine optimale Leistung für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen bietet.