Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9121067 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Indy
ID: 9121067
Wafergröße: 12"
Vertical LPCVD Furnace,12" Oxide.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der eine optimale Verarbeitungsleistung, einen hohen Durchsatz und eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit mit großen Prozessbereichen bietet und eine hohe Qualität und zuverlässige Produktion ermöglicht. Dieses Gerät bietet eine einstellbare, vollautomatische Plattform und eine große Auswahl an Ätz-, Addier- und Strippprozessen - einschließlich RIE-, CVD- und Sputterprozessen - und ist somit ideal für jede Prozessanforderung. Es ist mit einer fortschrittlichen und anpassbaren SPS-Steuerungsausrüstung zur Steuerung der Arbeitsabläufe ausgestattet, die einen stabilen Betrieb mit automatisierter Systemwartung und präventiven Funktionen gewährleistet. TEL Indy ist auch für mehr Bedienkomfort und Flexibilität konzipiert, mit einfach anzupassenden Parametern, automatischen Prozesszustandseinstellungen und einfach zu bedienenden Fernwartungsfunktionen. TOKYO ELECTRON Indy verfügt über eine Hochleistungs-Ätz-/Ascher-Einheit mit einer maximalen Ätzrate von 40 μ m/min, einer räumlichen Auflösung von 5 μ m und einem Prozessbereich von 30kHz bis 10GHz. Darüber hinaus trägt seine schnelle Reaktionszeit zu einem hohen Durchsatz mit einer verbesserten Line-by-Line-Wiedergaberate von 7MHz bei. Diese Maschine hat auch die Fähigkeit, multidirektionales Ätzen und Aschen mit 4-Richtungs-Überwachungsfähigkeit durchzuführen, wodurch sie gut für die Herstellung von feinen Mustern und kleinen Merkmalen geeignet ist. Darüber hinaus verfügt Indy über erweiterte Sicherheitsfunktionen, einschließlich Gefahrenvermeidungssysteme, die Fehlervermeidung und die Risikominderung. Dieses Werkzeug entspricht Umweltsicherheitsstandards wie SEMI S2 und ist mit mehreren Gasversorgungssystemen kompatibel. TEL/TOKYO ELECTRON Indy wurde mit fortschrittlichem maschinellem Lernen entwickelt und bietet ihm außergewöhnliche Fähigkeit in der Prozesswiederholbarkeit und Produktionsflexibilität, während Ausfallzeiten und Wartung minimiert werden. Seine hohe Leistungsfähigkeit ermöglicht es ihm, effektive und zuverlässige Produktionslösungen für eine Vielzahl von Prozessen in Forschung und Produktion bereitzustellen, und seine hohe Präzision macht es für Anwendungen in der Halbleiter-, MEM- und IC-Geräteherstellung geeignet.
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