Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9137330 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy ist ein Ätzer/Ascher für fortgeschrittene Prozesse wie anisotropes Ätzen mit hohem Seitenverhältnis. Der Ätzer/Ascher verfügt über einen Hochgeschwindigkeits-HF-Generator, hohe Leistung, niedriges Ionenbeschuss und ein hohes Maß an Kontrolle. Es ist in der Lage, komplexe, hochpräzise Ätzverfahren auf verschiedenen Materialien wie Silizium, Edelstahl, Kupfer und Glas, sowie eine breite Palette von Prozessparametern, wie Wafergröße, Ätzrate und Selektivität. TEL Indy bietet auch hervorragende Filmabscheidungseigenschaften. Ein modernes turbomolekulares Pumpsystem sorgt für maximale Prozessfähigkeit und ein großzügiges Kammervolumen in Kombination mit den fortschrittlichen internen Komponenten kann mehrere Substrate mit großen Seitenverhältnissen gleichzeitig verarbeiten. Sein sauberes Design bietet eine breite Palette von Prozessparametern und kann für verschiedene Anwendungen konfiguriert werden. TOKYO ELECTRON Indy zeichnet sich durch sein einheitliches Plasma und die Fähigkeit aus, kleine Breiten und hohe Seitenverhältnisse zu ätzen. Es eignet sich zum Ätzen von dünnen Filmen wie Nanomustern, Grabenätzen sowie für Einzel- und Multiwaferprozesse. Indy kann eine deutlich höhere Ätzrate als andere Technologien erreichen und ist auf ein hohes Maß an Prozesskontrolle und Flexibilität ausgelegt. Seine langlebigen Komponenten minimieren Wartung und Ausfallzeiten, um einen hohen Durchsatz zu erhalten. TEL/TOKYO ELECTRON Indy bietet auch eine breite Palette von Nachbearbeitungsmerkmalen, wie Sauerstoff- oder Stickstoff-Durchbruchüberwachung, Ionenanalysesysteme und CCD-Kameraüberwachung, sowie eine Vielzahl von Optionen zur Endpunktdetektion. Zusätzlich steht ein leistungsfähiges Diagnosesystem zur Verfügung, um eine schnelle Fehleranalyse zu ermöglichen. Abschließend ist TEL Indy ein ausgezeichneter Ätzer/Ascher, der für fortschrittliche Prozesse wie anisotropes Ätzen mit hohem Seitenverhältnis entwickelt wurde. Es bietet eine breite Palette von Prozessparametern, Nachbearbeitungsfunktionen und Fehleranalyse-Tools und seine langlebigen Komponenten minimieren Wartung und Ausfallzeiten, um einen hohen Durchsatz und Produktivität zu erhalten.