Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9141006 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy ist eine hochauflösende Ätzausrüstung, die die Produktion und den Durchsatz Ihres Halbleiterproduktionsprozesses maximiert. Das System wurde entwickelt, um mit den meisten Arten von Massen- und Gerätesubstraten wie Silizium, Glas und Edelstahl zu arbeiten. Die TEL Indy-Einheit bietet eine verbesserte Bildauflösung und -präzision beim Ätzen mit fortschrittlicher Optik, einer Helium-Neon-Laserquelle und einer Gefriertrocknungsmaschine, um die Partikelverschmutzung zu minimieren. Das Werkzeug verfügt über einen modularen Aufbau mit austauschbaren Werkzeugköpfen, um leicht zwischen Ätz- und Ätzreinigungsanwendungen zu wechseln. Die integrierte Software ermöglicht es Benutzern, die Energie-, Geschwindigkeits- und Spannungseinstellungen für jeden Wafer in einem beliebigen Muster automatisch anzupassen. Das Asset verfügt auch über die Hydrofluorodiode (HFC) -Technologie, die eine präzise und zuverlässige Tiefenkontrolle für das Ätzen ermöglicht. Das HFC-Modell mischt eine Kombination von inerten Gasen, um ein gleichmäßiges Ätzen über die gesamte Waferoberfläche zu realisieren und gleichzeitig die Plasmaemission zu unterdrücken. Die in TOKYO ELECTRON Indy-Ätzsystemen verwendeten Werkzeugköpfe bieten beispiellose Genauigkeit und Auflösung und ermöglichen eine präzise Auflösung von Mustern bis zu 10nm. Die Werkzeugköpfe können mit verschiedenen kartuschenartigen Komponenten angepasst werden, darunter Via-Tools, Photoresist-Spinner und Metallverdampfungsquellen. Darüber hinaus verwendet Indy-Geräte integrierte In-Process-Sensoren, um wichtige Prozessparameter in Echtzeit wie Gasströme, Temperaturen und Leistungsstufen zu überwachen. Diese Sensoren sind so konzipiert, dass sie alle Prozessänderungen erkennen, bevor sie signifikant genug werden, um die Ausbeute zu beeinflussen. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-Ätzsystem unterstützt auch eine Reihe von Funktionen, einschließlich eines Tieftemperatur-Ätzmodus für Nutätzen, eines Schnellätzmodus für großvolumige Prozesse und einer Anomalieerkennungsfunktion zur Vorhersage und Verhinderung möglicher Waferaberrationen. Neben der überlegenen Ätzleistung bietet die TEL Indy-Einheit auch eine hohe Verarbeitungsfähigkeit, einen hohen Durchsatz und eine überlegene Gleichmäßigkeit. TOKYO ELECTRON Indy ist die perfekte Wahl, um Ihre Ätzproduktionsprozesse zu fördern.