Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9276770 zu verkaufen
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ID: 9276770
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
Furnace, 12"
Process: Poly
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy ist ein Ätzer/Ascher von TEL (TOKYO ELECTRON). Sie ist speziell darauf ausgelegt, das selektive Ätzen und Abscheiden von Materialien wie Metallen und Polymerfilmen auf Substraten zu ermöglichen und eine kontrollierte Materialschicht zu erzeugen. TEL Indy hat einen modularen Aufbau mit drei Hauptkomponenten: Ätzkammer, Abscheideeinheit und Reinigungseinheit, untergebracht in einer Vakuumkammer. Die Ätzkammer besteht aus eloxiertem Aluminium und dient der Abgabe von Gas und der Einführung von Chemikalien zum Ätzen. Die Abscheideeinheit besteht aus Edelstahl und dient zur Abscheidung eines dünnen Films auf dem Wafer. Die Reinigungseinheit besteht aus poliertem Edelstahl und besteht aus mehreren Düsen und Kammern, die eine Nass- und Trockenreinigung ermöglichen. TOKYO ELECTRON Indy verfügt über eine breite Palette von Steuerparametern, einschließlich Druck, Temperatur, Gasdurchfluss und Zeit, um sicherzustellen, dass das genaue Ätzen und Abscheiden stattfindet. Darüber hinaus nutzt Indy mehrere Sicherheitsfunktionen, wie mehrere Druckschalter, Gasrheostate und Interlocks, um eine optimale Leistung und Sicherheit zu gewährleisten. TEL/TOKYO ELECTRON Indy hat ein patentiertes, in sich geschlossenes Vakuumsystem, das die Integrität der Kammer gewährleistet und das Austreten von Materialien verhindert. Das System verfügt auch über eine Fernüberwachungsfunktion, mit der Benutzer die Parameter des Systems fernüberwachen und anpassen können. TEL Indy verwendet mehrfache Halbleiterätz- und Abscheidungstechniken, wie Elektronen-Zyklotron-Resonanz (ECR) -Bogenätzen, Elektronenstrahlverdampfung (EBE) -Abscheidung und physikalische Dampfabscheidung (PVD) -Abscheidung. Es ist auch mit einer Reihe von Zubehör, wie Reaktionskammern, Pumpen und Lastschlössern ausgestattet, um die verschiedenen Ätz- und Abscheideprozesse zu erleichtern. TOKYO ELECTRON Indy ist mit einem hohen Maß an Vielseitigkeit entworfen, so dass Benutzer eine breite Palette von Materialien einschließlich Silizium, Aluminium und Halbleiterfilmen ätzen und abscheiden können. Abschließend ist Indy ein hochentwickelter Ätzer/Ascher, der speziell für das selektive Ätzen und Abscheiden von Materialien entwickelt wurde. Es verfügt über eine breite Palette von Steuerparametern und mehrere Sicherheitsmerkmale, um optimale Leistung und Sicherheit zu gewährleisten. Darüber hinaus sind der modulare Aufbau, das Zubehörprogramm und die vielseitigen Möglichkeiten der Halbleiterätzung und -abscheidung ein ideales Werkzeug für eine Vielzahl von Ätz- und Abscheidungsanwendungen.
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