Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9311184 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy ist eine überlegene Ätz-/Ascheausrüstung, die eine präzise Ätz-/Ascheprozesssteuerung für sehr komplexe Speicherchip- und Halbleiterbauelementherstellung bietet. Das System ist mit fortschrittlicher Mustertechnologie konzipiert, die das Ätzen oder Aschen mit einer Vielzahl verschiedener Materialtypen und Geometrien ermöglicht. Es bietet kritische Prozessfähigkeiten wie variable Ätz-/Ascheprozesssteuerung, Gerätestufenabtastung, Substratstufengenauigkeitskontrolle und automatisierte Fehlererkennung. Die Maschine ist in der Lage, Substrate wie Silizium, Germanium, Galliumarsenid und Indiumphosphid zu handhaben. Alle Materialtypen können ohne externe Hardware geätzt oder adert werden. Die Maschine ist mit einer Touchscreen-Frontblende und einer Vielzahl von Sicherheits- und Prozessüberwachungsfunktionen ausgestattet. Es verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, mit allen notwendigen Funktionen und Optionen in einem übersichtlichen und organisierten Format angeordnet. Das Gerät wird mit einer Reihe von Ätz-/Ascheprozess-Steuerparametern geliefert, einschließlich einstellbarer Spannung, Leistung, Druck und Strom. Es verfügt über mehrere Sensoren und Messeinrichtungen, die verschiedene Qualitäten des Ätz- oder Ascheprozesses messen, wie Druck, Strom und Temperatur. Diese Messungen ermöglichen die Prozessoptimierung für unterschiedliche Substratmaterialien und Geometrien. TEL Indy verfügt über eine erweiterte Steuerungs- und Kommunikationsarchitektur, die eine schnelle Reaktion auf Befehle bietet. Die geräuscharme Maschine verfügt zudem über eine Anti-Vibrations-Technologie, die eine hohe Genauigkeit bei Ätz-/Ascheprozessen gewährleistet. Darüber hinaus können die Geräte effektiv automatisiert werden, was eine erhebliche Zeitersparnis gegenüber dem manuellen Betrieb bietet. Das Werkzeug ist für die Großserienfertigung mit einer Kapazität von 80 bis 160 Wafern pro Stunde ausgelegt. Darüber hinaus ermöglicht die parallele Ausgestaltung von Trockenätzkammer und Ascherkammer eine Erhöhung des Durchsatzes, wodurch die Gesamtverarbeitungszeit weiter verkürzt wird. Es ist auch möglich, die Anzahl der Wafer zu erhöhen, die bearbeitet werden, indem die Trockenätz- und Ascherkonfigurationen geändert werden. TOKYO ELECTRON Indy ist ein fortschrittliches Etch/Asche-Asset, das für die Herstellung komplexer Substrate entwickelt wurde. Das Modell bietet eine präzise Ätz-/Ascheprozesskontrolle, die die Produktion hochwertiger Produkte ermöglicht. Die Kombination fortschrittlicher Funktionen wie variable Prozesssteuerung, Automatisierung und hoher Durchsatz macht das Gerät zur idealen Wahl für die Herstellung komplexer Substrate.