Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9311326 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy ist ein Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um große Mengen von Materialien schnell zu ätzen und zu aspherisieren. Dieses Gerät ist mit einer Poly-Silizium-Schicht-Abscheidekammer aufgebaut, die einen effizienten Wafer-Verarbeitungsdurchsatz ermöglicht. Diese Kammer kann modifiziert werden, um eine Vielzahl von Abscheidungsmaterialien wie Silizium, Germanium und Aluminiumoxid zu ätzen. Die Automatisierungsausrüstung von TEL Indy wurde entwickelt, um den Ätzprozess schnell und genau zu steuern, wodurch Hersteller Zeit sparen und die Genauigkeit verbessern können. Die Wafer-Transferstation ist ebenfalls integriert, die bis zu 100 Wafer laden und direkt auf das entsprechende Ätzmodul legen kann. Dies ermöglicht eine schnellere Waferbearbeitung als manuelle Transfersysteme. TOKYO ELECTRON Indy ist eine leistungsstarke Ätzplattform mit überlegener Kontrolle über den Ätzprozess. Es nutzt bahnbrechende und modernste Ätztechnologie, um Materialien bei hohen Geschwindigkeiten konsequent zu ätzen. Das Prozessleitsystem bietet präzise Ätztiefenmessungen, um sicherzustellen, dass Hersteller ein präzise geätztes und aspherisiertes Produkt erstellen können. Die Hardware ist in eine kompakte Maschine integriert und bietet umfangreiche Waferbearbeitungsfähigkeit. Die integrierte Gleichförmigkeits-Steuereinheit stellt sicher, dass diese Ausrüstung eine verbesserte und konsistente Substratleistung bietet. Diese Maschine ist in der Lage, Fehler und zeitintensive Prozesse zu beseitigen. Das Engineering der Indy-Linie bietet eine robuste Ätzkammer, die den für den Ätzprozess spezifischen Druckanforderungen gerecht wird. Die Bodenplatte der Kammer ist perfekt geschlossen und es kommt zu vernachlässigbaren mechanischen Leckagen. Der Ätzgaseintrittsmodus folgt genau dem Prozeß, der bei der Konstruktion eines einzelnen Waferätzers erforderlich ist. Die Einspritzung von Ätzgas in die Kammer wird durch die enthaltenen Ätzvorräte gesteuert, was einen optimalen Prozess ermöglicht. Dieses Werkzeug verwendet auch eine vollständige Abgasfiltration, die den Einsatz von sauberem Ätzgas ermöglicht. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Indy Ätzer/Ascher ein leistungsfähiges, effizientes und zuverlässiges Werkzeug, das verwendet wird, um große Mengen von Materialien schnell zu ätzen und zu aspherisieren. Die automatisierte Prozesskontrolle hilft dabei, Zeit zu sparen, die Genauigkeit zu verbessern und Fehler zu reduzieren. Das Gerät ist mit einer Poly-Silizium-Schicht-Abscheidekammer aufgebaut, die einen effizienten Waferbearbeitungsdurchsatz bietet. Der Ätzgaseinlassmodus und die vollständige Abgasfiltration tragen ebenfalls zur Leistung des Geräts bei. Alle diese Eigenschaften kombiniert machen es eine gute Wahl für Ätz- und Aspherisierungsmaterialien aller Art.
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