Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9379783 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy ist ein Ätzer/Ascher, der präzise und wiederholbare Ätz- und Ascheprozesse in der Halbleiterindutry bereitstellt. Es ist ein Niederdruck, schnelle thermische chemische Dampfabscheidung (CVD) Ätzer/Ascher mit einem geschlossenen Regelgerät entwickelt, um Durchbrüche in Ätzschritten zu reduzieren. TEL Indy ist für eine Reihe von Prozessen konzipiert, einschließlich: Ätzen und Aschen, Gate-dielektrisches Ätzen, Metallätzen, CMP-Entfernung, SiO2/SiN Ätzen und Transistor-Gate-Oxidation. TOKYO ELECTRON Indy verfügt über einen hohen Grad an Automatisierung und Temperaturregelung, die genaue Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Es verfügt über ein hohes Maß an Plasma-Gleichmäßigkeit über mehrere Wafer und bietet auch zeitbasierte und Endpunkt-Steuerungsoptionen. Die CVD-Ätz-/Ascheplasmakammer von Indy bietet Platz für bis zu 25 Wafer pro Prozess mit einer breiten Palette von Prozessparametern, um die Anforderungen der Anwender zu erfüllen. Die fortschrittliche LDE (Learn-Data-Execution) -Software von TEL/TOKYO ELECTRON Indy ermöglicht es dem Benutzer, Ätz- und Ascheprozesse anzupassen, indem Prozessparameter an benutzerdefinierte Anforderungen angepasst werden. Das System speichert automatisch das optimale Prozessrezept in einer Datenbank und ermöglicht einen schnellen Wechsel zwischen Prozessen und wiederholbaren Ergebnissen bei minimaler Benutzereingabe. TEL Indy verwendet eine Gasfördereinheit, die eine präzise Strömungssteuerung und Überwachung aller CVD-Ätz-/Aschegase ermöglicht. Diese Maschine ermöglicht auch das Einbringen von inerten Gasen in die Kammer, um die reflektierende Abscheidung zu verringern. Der Ätzer/Ascher verfügt zudem über eine benutzerfreundliche, einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche (GUI), die Prozessdaten in einem intuitiven Format bereitstellt und eine Fehlerbehebung und Überwachung von Prozessparametern und Durchsatz ermöglicht. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Indy ein fortschrittliches Ätz-/Ascherwerkzeug, das effiziente und präzise Prozesse für die Halbleiterindustrie bereitstellt. Die fortschrittliche LDE-Software, die Regeleinrichtung mit geschlossenem Regelkreis, der hohe Grad an Automatisierung und Temperaturregelung sowie das Gasliefermodell machen es zu einer idealen Ausrüstung für eine Vielzahl von Halbleiterätz- und -veraschungsprozessen.