Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9379806 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy ist ein Ätzer/Ascher für komplexe fortschrittliche Halbleiterverarbeitung. Das Gerät ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu zwölf Zoll zu verarbeiten und kann eine Vielzahl von Anwendungen wie photo- und elektrochemische Abscheidung, Ätzen und Strippen widerstehen. Es ist mit automatisierten Prozesssteuerungsfunktionen beladen und kann bis zu vier Wafer gleichzeitig aufnehmen. Der Ätzer arbeitet unter Verwendung einer laserinduzierten Entladungsplasmaquelle (LIDP), mit der Material auf einem Substrat zur Bildung einer Geräteschicht abgeschieden wird. Der Ätzer ist in der Lage, eine Vielzahl von Gasen für seine Operationen wie Ar, CF4, PTFE, O2 und CHF3 zu verwenden. Die LIDP-Plasmaquelle verfügt über vier Leistungsstufen, die je nach Anwendung für unterschiedliche Ätzprozesse gesteuert werden können. TEL Indy verfügt auch über ein hochauflösendes Steuermodul, das zur Einstellung des Strom- und Gasflusses verwendet wird. Dies liefert genauere Prozesskontrollergebnisse und ermöglicht es TOKYO ELECTRON Indy, komplexere Anwendungsanforderungen zu bearbeiten. Indy ist auch mit einem fortschrittlichen Sicherheitssystem ausgestattet. Dazu gehören Sicherheitsprüfungen der Quellenleistung sowie der Gasfluss- und Druckeinstellungen. Das Gerät verfügt außerdem über ein passives Sicherheitsventil, um eventuelle Gasaustritte während des Betriebs zu erkennen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine Verriegelungsvorrichtung, die das Starten der Geräte verhindern soll, wenn eine der Sicherheitseinstellungen nicht aktiviert ist. Das Kammerdesign von TEL/TOKYO ELECTRON Indy zeichnet sich durch eine innovative Form aus, die eine optimale Gleichmäßigkeit gewährleistet und die Effizienz des Ätzprozesses maximiert. Der Ätzer hat auch eine niedrige Stripprate, die sicherstellt, dass Ätzergebnisse von höchster Qualität sind. Diese niedrige Abisolierrate ist auch so ausgelegt, dass eine Kontamination während des Prozesses vermieden wird. TEL Indy ist ein vielseitiger Ätzer mit erweiterten Funktionen ausgestattet. Seine modulare Bauweise macht es für eine Vielzahl von Ätzanwendungen geeignet. Es hat eine ausgezeichnete Kontrolle über Ätz- und Abscheidungsprozesse und kann komplexe Anforderungen bewältigen und gleichzeitig überlegene Ergebnisse liefern. Das Werkzeug ist mit Sicherheitsfunktionen gebaut, um die Sicherheit während des Betriebs zu maximieren und Kontaminationen zu verhindern. Es ist sicher, zuverlässige und präzise Ergebnisse zu liefern.