Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9381806 zu verkaufen
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ID: 9381806
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
LPCVD Furnace, 12"
Process: DCS-MTO
Rapid cooling unit
Pump box
Power box
VOS-56-101P Heater
FUJIKIN Air valve
MFC, MFM: STEC
MAIN / APC: CKD
Load lock system
Storage
Front panel signal tower
Carrier transfer
FIMS Port
Wafer transfer
Boat elevator
Auto shutter
Operating system: Linux V2.13
Utility box:
WAVES Controller
GFC Panel
Operation panel
Data I/O
Gas unit
Cooling unit
APC Controller
Temperature controller
Vacuum line
Load port:
I/O FFU
Side FFU
Furnace subsystem:
Automation system
Heater
Process chamber
Temperature controller
Cooling water unit
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Power box:
EMO Unit
Control board
Hardware switch
Transformer
SCR Unit
N2 Purge unit
RCU Unit
Gases:
SiH4
SiH4Cl2
N2O
NH3
Missing parts:
QUARTZ Wares
Scavenger
Manifold
(2) Hard Disk Drives (HDD)
Power supply: 440/208 V
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy ist eine zuverlässige Ascher/Ätzer-Ausrüstung, die für präzises großflächiges Ätzen unterschiedlichster Materialien entwickelt wurde. Das System verfügt über eine integrierte Quelle für fortschrittliche Prozesstechnologie und Technologieplattformen, um eine hervorragende Ätzleistung zu bieten. Dadurch lassen sich verschiedenste Materialtypen wie Halbleiter, Halbleiterchips, organische Substrate, Dünnschichten und viele andere mit hoher Genauigkeit ätzen. Das Gerät verfügt über eine programmierbare Robotersteuerung für präzise Bewegung und Steuerung, die das genaue Ätzen auch komplizierter Muster ermöglicht. Die Maschine ist in der Lage, eine Vielzahl von Prozessrezepten zu unterstützen, wie Einzelschichtätzen, Mehrschichtätzen, AutoClick und Mehrfachmaskenätzen. Diese Funktionen kombinieren, um dem Benutzer eine komplette Ätzlösung mit mehreren Kombinationen von Prozessfunktionen zu bieten. Das Werkzeug verfügt zudem über eine integrierte automatische Reinigungsfunktion für eine schnelle und effiziente Reinigung der Ätzkammer, die eine gleichbleibende Leistung gewährleistet. Darüber hinaus ist die Anlage auch in der Lage, Argon, Stickstoff und sauerstoffbasierte Gase für Ätzanwendungen zu verwenden. Das Modell bietet außerdem einen effizienten Schutz vor Prozesskontamination mit einer hochreinen Umgebung, einer effizienten Gaslieferausrüstung und fortschrittlichen Steuerungsalgorithmen. Dies ermöglicht die maximale Extraktion von Prozesschemikalien und minimiert gleichzeitig die Kontaminationsrate. Neben der sicheren Ätzleistung verfügt das System auch über eine Vielzahl von zusätzlichen Funktionen, wie eine umfassende Benutzeroberfläche, bis zu der doppelten Geschwindigkeit der Mediengeschwindigkeit anderer Geräte und die Kompatibilität mit verschiedenen Materialien. Das Gerät verfügt außerdem über eine Echtzeit-Überwachungsfunktion, mit der Benutzer in-situ die Ätzrate verschiedener Materialien überwachen können, sowie eine Reihe von Alarmen, um unerwartete Änderungen der Ätzbedingungen zu erkennen. Insgesamt ist TEL Indy Ätzer/Ascher eine ideale Maschine für diejenigen, die eine zuverlässige, effiziente und umfassende Ätzlösung benötigen. Mit seiner benutzerfreundlichen Oberfläche, der Fähigkeit, eine breite Palette von Ätzrezepten und erweiterten Funktionen zu unterstützen, ist TOKYO ELECTRON Indy eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Ätzanwendungen.
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