Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT #293734292 zu verkaufen
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ID: 293734292
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
CVD System, 8"
(3) Chambers
WSi Process
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT ist eine Hochleistungs-Ätz-/Aschermaschine für fortschrittliche Halbleiterherstellungsprozesse. Diese hochmoderne Ausrüstung bietet eine präzise Kontrolle über Plasmabearbeitungsparameter, um einheitliche und wiederholbare Ergebnisse zu erzielen, was es zu einer idealen Wahl für Serienumgebungen macht. TEL MB2-730 HT-HT weist eine Doppelkammerkonfiguration mit einer Prozesskammer zum Plasmaätzen und einer Aschekammer zum Widerstandsstrippen auf. Dieses vielseitige Design ermöglicht es Anwendern, eine Vielzahl von Prozessen durchzuführen, ohne dass mehrere Werkzeuge benötigt werden, was die Effizienz verbessert und die Produktionskosten senkt. Eines der Hauptmerkmale von TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT ist seine Hochtemperaturfähigkeit, die eine Verarbeitung bei Temperaturen bis 350 ° C ermöglicht. Diese Fähigkeit ist wesentlich für bestimmte Anwendungen, die erhöhte Temperaturen erfordern, um eine optimale Prozessleistung zu erreichen. Mit der Fähigkeit, die Temperatur innerhalb der Prozesskammer zu steuern, können Benutzer die thermische Umgebung an ihre spezifischen Anforderungen anpassen. Neben seiner hohen Temperaturfähigkeit bietet MB2-730 HT-HT eine fortschrittliche Plasmaerzeugungstechnologie für eine präzise und gleichmäßige Verarbeitung. Das System ist mit einer hochdichten Plasmaquelle ausgestattet, die ein stabiles und gleichmäßiges Plasma über die Waferoberfläche liefert, um konsistente Prozessergebnisse von Wafer zu Wafer zu gewährleisten. TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT bietet auch eine Reihe von Prozessgasen und chemischen Optionen für eine Vielzahl von Anwendungen. Anwender können aus einer umfassenden Liste von Prozessgasen, wie fluorbasierten und sauerstoffbasierten Chemikalien, auswählen, um den Ätz-/Ascheprozess auf ihre spezifischen Bedürfnisse abzustimmen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine fortschrittliche Gasdurchflusskontrolltechnologie zur präzisen Regelung von Gasdurchflussraten und -gemischen, mit der Anwender Prozessbedingungen für maximale Leistung optimieren können. Um die Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit weiter zu verbessern, ist TEL MB2-730 HT-HT mit fortschrittlichen Überwachungs- und Steuerungssystemen ausgestattet. Werkzeuge zur Echtzeit-Prozessüberwachung ermöglichen es Benutzern, wichtige Prozessparameter wie Temperatur, Druck und Plasmaeigenschaften in Echtzeit zu beobachten und schnelle Anpassungen zu ermöglichen, um eine optimale Prozessleistung sicherzustellen. Die Maschine verfügt auch über anspruchsvolle Rezeptverwaltungsfunktionen, so dass Benutzer Prozessrezepte speichern und zurückrufen können, um konsistente Ergebnisse zu erzielen. Wartung und Wartung sind wichtige Überlegungen in der Halbleiterherstellung Ausrüstung, und TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT ist mit diesen im Auge entworfen. Das Tool verfügt über einen modularen Aufbau für einen einfachen Zugriff auf kritische Komponenten, was die Wartung vereinfacht und Ausfallzeiten reduziert. Darüber hinaus bietet TEL umfassende Service- und Supportprogramme, um maximale Verfügbarkeit und Produktivität für Benutzer MB2-730 HT-HT-Assets zu gewährleisten. Abschließend ist TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher-Modell, das präzise Steuerung, fortschrittliche Plasmatechnologie und Hochtemperaturfähigkeiten für eine breite Palette von Halbleiterherstellungsanwendungen bietet. Mit seinem vielseitigen Design, der überlegenen Prozesssteuerung und der robusten Wartbarkeit ist TEL MB2-730 HT-HT eine ideale Wahl für Halbleiterhersteller, die qualitativ hochwertige und zuverlässige Plasmabearbeitungslösungen suchen.
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