Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT #9145482 zu verkaufen
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ID: 9145482
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
CVD System, 8"
(2) Chambers
WSi Process
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT ist ein fortschrittlicher Vorreinigungsätzer/Ascher, der in der Lage ist, optimale Reinigungsergebnisse zu erzielen, insbesondere in Fällen, in denen hohe Temperaturen erforderlich sind. Diese Maschine ist mit einem speziellen Hochtemperatur-Waferätzverfahren ausgestattet, so dass sie bei bis zu 700 ˚C arbeiten kann. Das Hochtemperatur-Wafer-Ätzverfahren gewährleistet die Entfernung von Rückständen und Verunreinigungen, die nicht durch herkömmliche Naßreinigungsverfahren entfernt werden konnten, und gewährleistet so ein Höchstmaß an Sauberkeit und Präzision. Dieses Gerät verfügt über eine versiegelte und abgeschirmte Quarzverarbeitungskammer, die den Bediener vor feindlichen Gasen schützen und die Sauberkeit des Ätzmediums gewährleisten soll. Es kommt auch mit einer Vektoroption zum Ätzen einheitlicher dünner Schichten einige der schwierigsten Substrate. Ein einzigartiges Gaseinlasssystem ermöglicht es dem Benutzer, die Gaskonzentration und -richtung festzulegen, wodurch perfekte Bedingungen für Hochtemperaturätzen gewährleistet sind. TEL MB2-730 HT-HT umfasst eine ganze Reihe von Prozessparametern, die in das Gerät programmiert werden können, um den Ätzprozess mit präziser Wiederholbarkeit zu steuern. Eine dynamische Rückkopplungssteuerung ist ebenfalls enthalten, um sicherzustellen, dass der Prozess den genauen Vorgaben entspricht. Die Prozessparameter umfassen Zeit, Temperatur, Leistung, Gaskonzentration und Druck und ermöglichen flexible und präzise gesteuerte Ätzmuster. Diese Einheit ist mit einem großen Quarz-Viewport ausgelegt, der die Inspektion des gesamten Innenraums der Ereigniskammer während des Prozesses ermöglicht. Es stehen eine Vielzahl von Zubehörteilen zur Verfügung, wie Strahllenkeinrichtungen, Schildfokussierlinsen, Substrattemperatursensoren und eine breite Palette von Gaseinlassmischern und Pumpen. Dies gibt dem Benutzer mehr Kontrolle darüber, wie der Prozess ausgeführt wird, und hilft auch, die Gesamtbetriebskosten zu reduzieren. TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT ist eine vielseitige und zuverlässige Maschine, die sich ideal für optimale Ergebnisse in Hochtemperaturätzanwendungen eignet. Es ist ein unverzichtbares Werkzeug in ultra-sauberen Verarbeitungsumgebungen. Die hohe Präzision und Leistungsstärke der Maschine machen sie ideal für anspruchsvolle Ätzanwendungen wie MEMS, Display-Fertigung und viele andere Halbleiterprozesse.
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