Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #293825814 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730
ID: 293825814
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TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 ist ein fortschrittliches Ätzwerkzeug für die Herstellung von hochdichten Leiterplatten und anderen mikroelektronischen Geräten. TEL MB2-730 ist ein hochzuverlässiger einseitiger Mehrstrahl-Plasmaätzer für die Tiefenätzbearbeitung. Es verfügt über ein modernes optisches Design und eine 13 "-Kammer, mit der große Substrate mit hohem Durchsatz und präziser Ätzung verarbeitet werden können. TOKYO ELECTRON MB2-730 verfügt über Dual-Stage-Plasma-Technologie für erhöhte Ätzraten und ausgezeichnete Profilkontrolle. Dies ermöglicht eine hohe Profilgenauigkeit über große Bereiche, so dass es Leiterplatten mit Funktionen so klein wie 0,3 um, mit Ätzgenauigkeit bis zu 0,3 nm herstellen kann. Das System hat 5 Kammern, die Hauptätzkammer, Vorreinigungskammer, Nachreinigungskammer, Vorätzkammer und Nachätzkammer. Dies bietet eine hohe Genauigkeit beim Ätzen und eine präzise Prozesssteuerung. Das System verfügt auch über automatisierte Wafer-Indexierung und -Ausrichtung, die eine konsistente Platzierung von Wafern im Ätzer ermöglicht. MB2-730 verwendet einen mehrstufigen Prozess, der die höchste Qualität der Ätzung gewährleistet. Zunächst wird das Substrat einem Vorreinigungsprozess ausgesetzt, um Partikel oder Oberflächenverunreinigungen zu entfernen. Anschließend erfolgt ein Tieftemperatur-Hochdruck-Vorätzschritt, um die Oberfläche aufzuweichen und für den Ätzprozess vorzubereiten. Anschließend wird mit Hilfe eines speziellen Gasinjektors ein hochreaktives Prozessgas in die Ätzkammer eingeleitet. Das in der Kammer gebildete Plasma ätzt dann das Substrat nach den erforderlichen Vorgaben. Schließlich kann je nach verwendetem Ätzprozeß mit einem Nachätz- und Descumverfahren eventuelle Rückstände entfernt und das Substrat mit einer sauberen und gleichmäßigen Oberflächengüte belassen werden. TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 ist ein äußerst zuverlässiges und benutzerfreundliches Ätzwerkzeug, das den Anforderungen der Leiterplattenherstellung gerecht wird. Es liefert genaues Ätzen mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit und hohem Durchsatz. Darüber hinaus ist es mit seinem benutzerfreundlichen Robotersystem einfach, in jede Fertigungslinie einzubinden. Mit seinen fortschrittlichen Eigenschaften ist TEL MB2-730 die perfekte Wahl für die Herstellung von Leiterplatten und Komponenten mit hoher Dichte.
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