Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9167961 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 Etcher/Asher ist ein Mehrkammer-, Einwafer-Trockenätzsystem, das ultrahohe Ätzgenauigkeit für verschiedene fortschrittliche Materialien bietet. Die beiden Prozesskammern verfügen über ein großes Prozessfenster, das höchste Vielseitigkeit ermöglicht. Durch die Kombination einer Mittelleistungs- und einer Hochleistungs-induktiv gekoppelten Plasmaquelle ist eine hervorragende Ausnutzung von Ätzschritten weiter möglich. Der Ätzer/Ascher verfügt darüber hinaus über eine In-situ-Reinigungsfunktion sowie eine modernste, trackinggesteuerte Probenstufe. Dies ermöglicht eine verbesserte Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit des Ätzprozesses sowohl für einzelne als auch für mehrere Schichten. Das System ist mit vielen Sicherheitsinstrumenten ausgestattet, die es ergonomisch und bequem zu bedienen machen. So kann der Bediener über das Touch-Panel-Display mit einer intuitiven GUI Parameterwerte einstellen und automatische Verriegelungssysteme schützen das System vor Feuer und Gefahrenbedingungen. Mit 2350 x 2390mm Grundfläche ist TEL MB2-730 in der Lage, eine Reihe von Wafergrößen aufzunehmen. Es kann bei Waferhaltern mit erheblicher Waferbelastungsflexibilität kombiniert mit Präzision und Reproduzierbarkeit eingesetzt werden. Die fortschrittliche Technologie der Kammer ermöglicht eine hohe Selektivität beim gleichzeitigen Ätzen verschiedener Materialien. Es kann bis zu 40 nm Genauigkeit beim Ausführen von Ätzprozessen und bis zu 80 nm Genauigkeit beim Ausführen von Ätz- und Ascheprozessen erreichen. Es bietet auch ideale Bedingungen für das Ätzen von Halbleiterbauelementen auf Si, 3D/2.5D integrierten Systemen und integrierten Großschaltungen. TOKYO ELECTRON MB2-730 wurde entwickelt, um Prozesse wie zusammengesetztes Ätzen, RIE-Lückenfüllung für ultra-low k dielektrisches Ätzen und umfangreiche Abscheidungen einschließlich Metall und dielektrische Schichten zu unterstützen. Vielseitigkeit, präzise Prozesse, leistungsstarke Quellennutzung und Sicherheit sind nur einige der Vorteile dieses zuverlässigen Ätzers/Aschers. Daher ist MB2-730 Etcher/Asher die perfekte Wahl für alle anspruchsvollen Materialätzbedürfnisse.