Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9398831 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 ist ein fortschrittlicher Ätzer, der speziell für Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Anwendungen entwickelt wurde. Dieser Ätzer eignet sich perfekt für Operationen, die eine präzise Kontrolle der im Ätzprozess verwendeten Fluor- und Schwefelvorläufer erfordern. Das Gerät umfasst einen Gaskasten, zwei miteinander verbundene Quarzkammern und eine Lastschloßkammer. Es enthält auch ein Lastschloss mit Waferübertragung und ein Hochvakuum-Pumppaket, so dass es einen Basisdruck von unter 6 mTorr zu erreichen. TEL MB2-730 ist mit TEL proprietären Advanced Plasma Source (APS) ausgestattet, die eine hocheffiziente, rauscharme Plasma-Mehrkanalkonfiguration aufweist. Dieses System ermöglicht eine präzise Kontrolle der präzisen Abscheidungsparameter und liefert Produkte von höchster Qualität. Es ist auch für reproduzierbare und einheitliche Ätzprozesse ausgelegt. Es ist in der Lage, verschiedene Substrate, wie Siliziumscheiben, dünne Filme und amorphes Glas zu ätzen. TOKYO ELECTRON MB2-730 verwendet eine Hybridgassteuereinheit, die einen Gasmischkasten, eine Mischkammer und ein Turbopumpenpaket mit hoher Durchflusskapazität umfasst. Diese Konfiguration gibt Anwendern die Flexibilität, die genaue Zusammensetzung von Ätzgasen zu definieren, so dass sie den Ätzprozess genau anpassen können. Die Maschine enthält auch einen Quarz Crystal Monitor (QCM), der eine genaue Kontrolle des Abscheidungsprozesses ermöglicht. MB2-730 ist auf zuverlässige, langfristige Leistung ausgelegt. Das Tool verfügt über eine Selbstdiagnose-Funktion, mit der Benutzer mögliche Wartungsbedürfnisse vorhersagen können, sowie einen automatisierten Reinigungszyklus, um Wartungszeit und -aufwand zu reduzieren. Darüber hinaus umfasst die Anlage Sicherheitsmerkmale wie Überdruckalarme und Temperaturgrenzen, um die Sicherheit des Bedieners zu gewährleisten. Abschließend ist TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 ein fortschrittlicher Ätzer, der sich perfekt für Operationen eignet, die eine genaue Kontrolle der im PECVD-Prozess verwendeten Fluor- und Schwefelvorläufer erfordern. Es ist mit TOKYO ELECTRON proprietären Advanced Plasma Source (APS) und einem hybriden Gaskontrollmodell ausgestattet, das den Anwendern die Flexibilität bietet, den Ätzprozess genau an ihre Bedürfnisse anzupassen. TEL MB2-730 umfasst auch Sicherheitsmerkmale wie Überdruckalarme und Temperaturgrenzen sowie ein selbstdiagnostizierendes Gerät, was es zu einer zuverlässigen und sicheren Option für Ätzanwendungen macht.