Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #293594208 zu verkaufen

ID: 293594208
Weinlese: 1999
Dry etcher Gas box Glass size: 370 x 470 mm (2) Chambers Monitor rack Loadlock Rear block Regulator box Indexer Main rack Loadlock pump rack Loadlock pump P/C-R Pump P/C-L Pump Turbo controller rack (2) Chillers 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II ist ein hochmoderner, hochmoderner Ätzer/Ascher. Es wird von TEL entwickelt und hergestellt und hat eine breite Palette von Anwendungen und Anwendungen in der Industrie. TEL ME-450II ist eine direkte Plasmaätzanlage mit Mehrkammerdesign, die dem Anwender eine stabile und konsistente Umgebung zum Mustern und Ätzen bietet. Die Kammer des Systems ist für das Ätzen von Silizium, dem in der Elektronikindustrie am häufigsten verwendeten Substrat, optimiert. Es eignet sich auch für andere Materialien, wie Glas und Quarz. TOKYO ELECTRON ME-450II verwendet eine optimierte Multi-Wellenlängen-Plasmaquelle, um eine hohe Ätzrate, ein großes Prozessfenster und eine außergewöhnliche Selektivität zu liefern. Die hohe Plasmadichte, die geringe Substrataufladung und die überlegene Verzögerungssteuerung ermöglichen eine überlegene Ätzleistung auf einer breiten Palette von Substraten und Filmen. Die Kammerkonstruktion der Maschine nutzt mehrere Quellen und Ätzgase für maximale Prozessflexibilität. ME-450II wird standardmäßig mit einer festen Kathode, einer zylindrischen Kathode und planaren Elektroden für verschiedene Prozessströme einschließlich reaktiver Ionenätzung (RIE) geliefert. Die planaren Elektroden können verwendet werden, um Wechselstrom oder gepulste Gleichstromleistung auf Substrate für überlegene Mustertreue paddeln. Darüber hinaus ermöglicht die automatische Gaszufuhr und -steuerung des Werkzeugs eine einheitliche Gasverwendung und eine vollständige Prozesskontrolle. TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II enthält auch eine Vielzahl von verschiedenen Werkzeugen und Funktionen, um eine gute Prozessleistung und Ausbeute zu gewährleisten. Beispiele für solche Merkmale sind ein automatisierter Substratpositionierer und ein reflexionsarmer Substrathalter. TEL ME-450II verwendet auch langlebige Keramikwerkstoffe, um Ausfallzeiten zu minimieren und die Wartung zu optimieren. TOKYO ELECTRON ME-450II ist mit einer Vielzahl von Alarmen und Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um die Sicherheit des Personals und die Prozessstabilität zu gewährleisten. Echtzeitdiagnosen ermöglichen es Benutzern, Prozesse schnell zu überwachen und zu ändern, ohne das Asset zu stoppen. ME-450II ist für eine einfache Integration in bestehende Produktionsumgebungen konzipiert und mit einer Vielzahl von Substraten und Folien kompatibel, wodurch ein Produktionsmodell entsteht, das relativ schnell eingerichtet und einfach zu bedienen ist. Zusammenfassend machen Engineering und Software-Fortschritte zusammen mit einer Kombination aus einzigartigen Ätzquellen und Gasflusssteuerung TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II ein ideales Werkzeug zum Mustern und Ätzen. Seine fortschrittlichen Eigenschaften, kombiniert mit seinem Mehrkammer-Kammerdesign und zugehörigen Prozesswerkzeugen, sorgen für wiederholbare, zuverlässige und qualitativ hochwertige Ergebnisse.
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