Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #9083622 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II ist ein voll ausgestatteter Ätzer/Ascher, der speziell für die Hochvolumen-Pipeline-Verarbeitung in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Diese Ausrüstung ermöglicht schnelle Ätz- und Ascheprozesse ohne Wafer-Schaltvorgänge. Es ist mit einem fortschrittlichen mehrdimensionalen Auswertesystem gebaut, das die präzise Anpassung mehrerer Prozessparameter ermöglicht und so eine hohe Durchsatzproduktion ermöglicht. Das Gerät ist mit einem Großraumwaferlader und Entlader ausgestattet, der Wafer bis 200 mm Durchmesser handhaben kann. Es ist auch in der Lage, bis zu 200mm Wafer auf der vollen Fläche mit einer Auflösung von 5nm zu scannen. Diese Abtastmaschine ermöglicht eine hochpräzise Prozesssteuerung, die eine präzise Abstimmung des Ätz-/Ascheprozesses ermöglicht. TEL ME-450II ist zum doppelseitigen Ätzen/Aschen in der Lage, wodurch eine gleichmäßige Oberflächengüte über beide Seiten des Wafers gewährleistet wird. Es enthält auch eine Reihe von Funktionen zur Minimierung von Fehlern, einschließlich eines integrierten automatischen Nivellierwerkzeugs, einer Regalkammer und eines automatisierten, präzisen Ausrichtungsobjekts. Hinsichtlich der Prozessparameter ist TOKYO ELECTRON ME-450II in der Lage, einfache und komplexe Ätz-/Ascherezepte mit wiederholbarer Präzision zu verarbeiten. Es kann Ätzraten so niedrig wie 5nm/min und so hoch wie 400nm/min verwalten, je nach Konfiguration. Das Modell hat auch die Fähigkeit, mehrere Gaszufuhrkanäle mit einem maximalen Temperaturbereich von bis zu 1400 ° C zu steuern, wodurch Benutzer die vollständige Kontrolle über Ätz- oder Aschetemperaturen erhalten. ME-450II ist auch mit einem leistungsstarken Vakuumpumpgerät ausgestattet, mit einer Pumpzeit von bis zu 10 Sekunden. Es verfügt auch über eine erweiterte Überwachungsfunktion, um Benutzer auf Prozessunregelmäßigkeiten hinzuweisen. Diese Funktion ermöglicht die schnelle Erkennung von Unregelmäßigkeiten, so dass Benutzer umgehend Korrekturmaßnahmen ergreifen können, um eine kontinuierliche und qualitativ hochwertige Produktion zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II auch über ein umfassendes Softwarepaket, das die Benutzerfreundlichkeit maximiert. Dieses Paket enthält eine Datenbank zum Speichern von Rezeptinformationen, Tools zur Optimierung von Rezepten und integrierte Prozesssteuerungsfunktionen. Das Softwarepaket verfügt zudem über eine benutzerfreundliche GUI, die einen schnellen Rezept-Betrieb und eine schnelle Analyse von seriellen Daten ermöglicht. Insgesamt ist TEL ME-450II ein voll ausgestatteter Ätzer/Ascher, der überlegene Durchsatz- und Prozesskontrolle bietet. Es ist ein zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug, das sich gut für die schwere Produktion von Wafern in der Halbleiterindustrie eignet.