Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Metal CVD Chamber for Triase+ Ti/TiN #9294228 zu verkaufen

TEL Metall CVD-Kammer für Triase + Ti/TiN ist ein anspruchsvolles Ätzgerät/Ascher entwickelt, um Ti/TiN auf großen Flächen mit hoher Reproduzierbarkeit abzulegen. Dieses Gerät ist aus Edelstahl gefertigt, so dass es extremen Temperaturen und Druckniveaus standhalten kann. Es hat auch eine geschlossene Durchflussausrüstung, die hohe Reinheit, Homogenität und Wiederholbarkeit gewährleistet. Das System beinhaltet einen einzigartigen Gaszentralmechanismus, der den Gasverbundstrom am Folien- und Gasabblaseabstand stromabwärts der Ätzkammer bereitstellt. Dadurch wird eine gute Qualität der Ablagerungen über ganze Scheibenoberflächen gewährleistet. Die Kammer verfügt außerdem über eine modifizierte Quelleneinheit, die bis zu fünf Gaskanäle enthält und zur Dünnschichtbildung dient. Ferner enthält die Ätzkammer einen Temperaturregler zur Temperaturerhöhung und -stabilisierung vor der Ti/TiN-Abscheidung. Um diese Maschine effektiv zu betreiben, muss der Bediener die Prinzipien des Prozesscontrollers verstehen. Dieses Gerät ermöglicht die manuelle Einrichtung aller Vorprozesse, wie Druck, Temperatur und Fördergasdurchfluss. Darüber hinaus ermöglicht es dem Bediener, die Prozessparameter dynamisch einzustellen, um eine optimale Leistung zu erzielen. Bei der Verwendung dieses Werkzeugs muss der Bediener die vordere Abdeckung und die seitliche Abdeckung der Kammer vor dem Einschalten der Prozesssteuerung öffnen. Es wird dann eine gleichmäßige Temperatur über die gesamte Kammer angefordert, üblicherweise durch erstmaliges Einleiten des Prozessgases. Der Gasdurchsatz muss genau überwacht werden, um einen verteilenden Gasdruck zu gewährleisten und Überdruck zu verhindern. Diese Anlage ist auch mit einem beheizten Quarzfenster ausgestattet, das von derselben Hauptstromquelle aus der Ätzkammer betrieben werden kann. Es ist wichtig, die Temperatur des Quarzfensters für die Ätzparameter sowie zur Vermeidung von Verunreinigungen einzustellen. Darüber hinaus muss der Bediener regelmäßig die Positionierung des Quarzfensters überprüfen, um mögliche Schäden zu vermeiden und die höchste Leistung des Modells zu gewährleisten. Kurz gesagt, TOKYO ELECTRON Metal CVD Chamber für Triase + Ti/TiN ist ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der helfen kann, hohe reproduzierbare Ablagerungen über große Flächen zu liefern. Es ist eine komplexe Ausrüstung, die Kenntnisse über Prozessregler, Temperaturregelung und Quarzfensterpositionierung erfordert. Eine genaue und regelmäßige Überwachung aller zugehörigen Parameter ist notwendig, um beste Ergebnisse zu erzielen.