Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON RLSA #293589548 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON RLSA ist eine Art computergestützter Ätzer, allgemein als Ascher bezeichnet. Zu den Hauptkomponenten der Anlage gehören ein Substrathalter, ein Regler, eine Reaktionskammer und eine Prozesskammer, die alle von einem Windows 7 OS betrieben werden. TEL RLSA Ätzer hat die Fähigkeit, sowohl ein- als auch zweiseitige Substrate gleichzeitig zu ätzen. Es kann Metalle, einschließlich Aluminium, Kupfer und Wolfram, sowie Keramik- und Quarzsubstrate ätzen. Es kann verwendet werden, um Funktionen wie Spuren, Vias und Pads sowie Löcher, Schlitze und Hohlräume mit hoher Präzision zu ätzen. Der Controller besteht aus einem Mikroprozessor und einem programmierbaren System, das präzise Einstellungen für jeden Ätzvorgang ermöglicht. Die Prozesskammer ist ein geschlossener vakuumdichter Bereich, der Reaktionskammer und Substrathalter hält. Die Reaktionskammer besteht aus einem Reaktionsrohr, das mit einer Vakuumkammer, einer Gasverteilereinheit und einem Satz Vorrichtungen verbunden ist. Die Vakuumkammer dient zur Bereitstellung einer Niederdruckumgebung und die Gasverteilmaschine zur Zugabe der beim Ätzprozess verwendeten Gase. Das Reaktionsrohr wird mit einer Reinigungslösung gefüllt und der Substrathalter hält das Werkstück sicher. Der Regler wird verwendet, um die Ätzprozessparameter wie Zeit, Gasdurchfluss, Druck, Temperatur und Spannung einzustellen. Der Controller teilt die Ätzdaten auch mit dem Windows 7-Betriebssystem, sodass der Benutzer den Ätzprozess programmieren und mit dem TOKYO ELECTRON RLSA-Ätzer interagieren kann. Es ermöglicht zusätzlich eine automatische Düsenreinigung und Wafer-Verifizierung, so dass der Bediener die Ätzprozessergebnisse leicht überprüfen kann. Zusammenfassend ist RLSA ein vielseitiger Ätzer, der in der Lage ist, Metalle, Keramiken und Quarzsubstrate präzise zu ätzen. Es ist einfach zu programmieren und mit über das Windows 7-Betriebssystem zu interagieren und enthält Funktionen wie Düsenreinigung und Wafer-Verifizierung für erhöhte Präzision.
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