Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON RLSA #9270938 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON RLSA, auch als Ätzer oder Ascher bekannt, ist eine hochentwickelte Art von Aschemaschinen, die mit einem Niedertemperatur-Plasmasystem Proben für Elektronenmikroskope wie Rastertunnel- und Feldemissionsmikroskope ätzen. Diese Einheit wird von TEL Technology Co., Ltd. entwickelt und bietet viele deutliche Vorteile gegenüber anderen Arten von Aschesystemen. TEL RLSA ist ein fortgeschrittenes Trockenätzmittel, das zwei Arten von Plasma zum Ätzen verwendet, nämlich einen positiven Ionenstrahl (PIB) und einen negativen Ionenstrahl (NIB). Seine PIB wird für die Substratreinigung und viel feineres Ätzen verwendet, als herkömmliche Aschemethoden vorsehen können; während seine NIB für funktionelle und strukturelle Veränderungen in Materialien, wie Abscheidung und Epitaxie verwendet wird. Damit erreicht TOKYO ELECTRON RLSA eine präzise Ätzung mit einer höheren Genauigkeit. RLSA verwendet spezielle Substrate, wie ein fluidkompatibles Substrat mit einem empfindlichen Quarzfenster, um extrem kleine Merkmale auf Proben zu ätzen. Das Fenster ist hochempfindlich und kann präzise gesteuert werden, so dass Benutzer mehr Kontrolle über den Ätzprozess haben und Ergebnisse mit größerer Genauigkeit erzielen können. Darüber hinaus verfügt TEL/TOKYO ELECTRON RLSA auch über eine fortschrittliche Steuerungsmaschine, die es Anwendern ermöglicht, den Ätzfortschritt und die Ätzbedingungen entsprechend den Ergebnissen zu überwachen. Diese verbesserte Genauigkeit und Kontrolle ermöglicht es Benutzern, verschiedene Arten von Strukturen und Mustern ohne Fehler zu erreichen. Einer der größten Vorteile von TEL RLSA ist, dass es aufgrund seines Niedertemperatur-Plasma-Werkzeugs und seiner Effizienz in der Lage ist, eine größere Materialvielfalt als herkömmliche Aschesysteme zu ätzen. So können Anwender Metalle, Oxide und planare Substrate präziser ätzen. TOKYO ELECTRON RLSA ist auch sehr sicher und zuverlässig und wird in Reinraumumgebungen zum Ätzen empfindlicher Materialien verwendet. Darüber hinaus ist es auch sehr einfach zu bedienen, und benutzerfreundliche Komponenten sind in der Steuerung enthalten, so dass Benutzer die Ätzbedingungen auch ohne technische Expertise leicht steuern können. Insgesamt ist RLSA ein fortschrittliches Ätzmodell, das aufgrund seiner Niedertemperatur-Plasmaausrüstung, der effizienten Substrathandhabung und des hochpräzisen Kontrollsystems präzise und präzise Ergebnisse liefert. Damit eignet sich das Gerät ideal zum Ätzen einer Vielzahl von Proben in Feldemissions- und Rastertunnelmikroskopieanwendungen.
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