Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #293705863 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin ist eine Halbleiter-Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die für fortgeschrittene Anwendungen auf dem Gebiet des Halbleiterätzens und des Aschens entwickelt wurde. Dieses System besteht aus einer einzigen zentralen Steuereinheit, die alle Komponenten steuert. Zu diesen Komponenten gehören eine zentrale Prozessoreinheit (CPU), ein Oszilloskop, eine Vakuumkammer, eine Aschenkammer, eine Wafer Mapping Machine, ein beheiztes Gaswerkzeug und ein Wafer Transport Asset. Die CPU-Einheit in diesem Modell ist für die Steuerung aller anderen Komponenten im Gerät verantwortlich. Das heißt, ist verantwortlich für den Empfang, die Interpretation und die Ausführung von Befehlen, die vom Benutzer über die Computerschnittstelle gesendet werden. Es liest auch Daten aus den Sensoren und Parametern, die den Ätz- und Aschevorgang bestimmen. Die Parameter werden mit Hilfe eines benutzerfreundlichen grafischen Menüs in die Software eingegeben. Alle benötigten Daten werden dann innerhalb der Software gespeichert und verarbeitet. Das Oszilloskop dient als Schnittstelle zwischen der CPU und den anderen Komponenten des Systems. Es ist verantwortlich für die Anzeige der Parameter und Messwerte der verschiedenen Komponenten in der Einheit wie der Vakuumkammer oder der beheizten Gasmaschine. Die Vakuumkammer in TEL SCCM Shin dient als Gefäß zur Aufnahme der Umgebung, in der der Ätz-/Aschevorgang durchgeführt wird. Diese Kammer kann in Abhängigkeit von der Art des erforderlichen Prozesses so ausgebildet sein, dass sie verschiedene Vakuum- und/oder Atmosphärenebenen in sich erzeugt. Die Aschekammer des Werkzeugs ist für die Entfernung unerwünschter Schichten auf der Halbleiterscheibe verantwortlich und besteht aus einer Kammer und einem Gasversorgungsgut. Die Kammer enthält eine Heizung, mit der das Gas auf die gewünschte Temperatur aufgeheizt wird. Anschließend wird das Gas in die Kammer eingespritzt und der Vorgang der Entfernung von unerwünschten Schichten auf dem Wafer erfolgt. Das Wafer Mapping Modell von TOKYO ELECTRON SCCM Shin besteht aus einer Strahlabbildungsanlage und einem Wafertransportsystem, mit dem der Wafer exakt abgebildet und präzise in die Vakuum- und/oder Aschekammern transportiert werden kann. Dies ist entscheidend, um die Genauigkeit des Ätz- oder Ascheprozesses zu gewährleisten. Die Heizgaseinheit der Maschine ist so ausgelegt, dass den Kammern kontinuierlich erhitzte und/oder gekühlte Gase wie Stickstoff, Sauerstoff oder Argon zugeführt werden. Dadurch kann das Werkzeug Prozesse schneller und präziser durchführen. Schließlich ist das Wafer Transport Asset von SCCM Shin darauf ausgelegt, den Wafer präzise und präzise in und aus den Kammern zu transportieren. Dieses Transportmodell besteht aus einem Linearmotor, der zur Steuerung der genauen Bewegung des Wafers dient und in einer parallel gelagerten Führungsschiene untergebracht ist. Zusammenfassend ist TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin eine hochentwickelte Ätz- und Ascheausrüstung für Halbleiterscheiben. Die verschiedenen Komponenten erledigen jeweils eine bestimmte Aufgabe innerhalb des Systems, die genaue und präzise Ätz- und Auswertungsergebnisse ermöglicht.