Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9235178 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher für fortschrittliche Technologie Halbleiterherstellungsprozesse entwickelt. Es unterstützt eine breite Palette von Wafergrößen (von 5 "-Wafern bis 150 mm) und ist in der Lage, den Anforderungen sowohl trockener als auch nasser Ätzprozesse gerecht zu werden und liefert schnelle und zuverlässige Ergebnisse. Die Ausrüstung ist kompakt und einfach zu bedienen, mit einem farbigen Touchscreen-Display. Es verfügt über eine modulare Architektur, so dass es einfach ist, das System an sich ändernde Kundenanforderungen anzupassen und zu erweitern. Es ist mit einer großen Reihe von Prozesskammern und internen Gasleitungen ausgestattet, so dass es einfach mit beiden ein-/mehrstufigen Ätzrezepten konfiguriert werden kann. TEL SCCM Shin ist zusätzlich mit einer Kammerreinigungseinheit nach dem Reactive Ion Etch (RIE) Prinzip ausgestattet. Diese Maschine verwendet einen hochbeschleunigten Plasmastrahl aus komprimierten Gasen, um Verunreinigungen aus dem Inneren der Kammern wirksam zu entfernen, ohne die strukturierte Oberfläche des Wafers zu beeinträchtigen. Darüber hinaus bietet das Tool eine Vielzahl von Optionen wie einen Thermoelement-Monitor zur Steuerung von Prozesstemperaturen, einen CP-MS-Detektor zur Detektion von Partikelwerten und ein hochempfindliches Mikrometer zur genauen Messung der Waferdicke in-situ. Darüber hinaus kann es mit speziellen Heiz- und Kühlstrukturen zur optimierten Prozesssteuerung konfiguriert werden. TOKYO ELECTRON SCCM Shin ist in der Lage, eine hohe Gleichmäßigkeit über eine breite Palette von Prozessen bereitzustellen, einschließlich HF-basiertes Ätzen, CMP, Dünnschichtätzen und reaktives Ionenätzen. Es ist sehr zuverlässig und effizient, so dass es eine ideale Wahl für die Herstellung von fortschrittlichen Technologie Halbleiterbauelemente.