Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9409053 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin ist ein fortschrittlicher Ätzer oder Ascher, der anspruchsvolle Ätz- und Aschefunktionen vor Ort für Laboratorien und Forschungseinrichtungen bietet. Das Gerät wurde entwickelt, um einen genauen, reproduzierbaren Ätzprozess zu liefern, der für eine Vielzahl von Anwendungen bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden kann. TEL SCCM Shin ist mit einer Vielzahl von Funktionen für Präzision und Zuverlässigkeit ausgestattet. Das System verfügt über eine steuerbare Heizplattform, die eine präzise Temperatur- und Atmosphärenkontrolle der Substrate sowie einen einfachen Zugang zu beladenen Substraten ermöglicht. Es verfügt auch über eine intuitive Benutzeroberfläche, die eine schnelle Parametereinstellung und Prozessüberwachung ermöglicht. Eine fortschrittliche Prozesssteuereinheit (ACS) ermöglicht eine präzise Ätzprozesssteuerung und Parametereinstellung, die sowohl mit Nass- als auch Trockenätzprozessen kompatibel ist. Darüber hinaus verfügt TOKYO ELECTRON SCCM Shin über eine automatische Gasströmungsmaschine, die die Gasbeladung erleichtert und Druck- und Temperaturfehler beseitigt. Dieses Werkzeug ist auch mit einer Kühleinheit ausgestattet, die eine optimale Kühlung der Ätzkammer und ihrer Umgebung gewährleistet. Sowohl der Gasstrom als auch die Kühlsysteme werden von unabhängigen Reglern gesteuert, die eine präzise Temperatur- und Druckregelung ermöglichen. Für die Automatisierung unterstützt das Asset mehrere (bis zu zehn) Reaktionen auf bis zu drei separate Lastsperren. Das Modell bietet auch in situ Messung der Ätzrate, Laserinterferometrie verwendet, um Ätztiefe an drei Punkten pro Probe zu messen. Dies liefert eine genaue Echtzeit-Rückkopplung für die Ätzprozesssteuerung. Darüber hinaus verfügt das Gerät über einen In-situ-Rückstands-/Rekristallisationsdetektor, der eine In-situ-Überwachung der Ätzrate und den Nachweis von Rückständen oder Rekristallisation während des Ätzens ermöglicht. SCCM Shin ist ein Einkammer-vertikales Ätz-/Aschersystem, das auf Prozesserträge und Zuverlässigkeit ausgelegt ist. Es bietet eine hervorragende Prozesssteuerung, Flexibilität und Automatisierung, was es zu einer ausgezeichneten Wahl für Ätz- und Ascheanwendungen macht.