Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9409127 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin ist eine Ätz- und Aschermaschine, die in vielen Branchen und Einrichtungen eingesetzt wird. Dieses System wird bei der Herstellung und Ätzung von Dünnschichtvorrichtungen, Dünnschichtschichten und anderen waferbezogenen Materialien eingesetzt. Es zeichnet sich durch hohe Präzision, geringen Leistungsaufwand und geringe Abfallproduktion aus. Es eignet sich gut für den Einsatz in Halbleiter-, Mikromaschinen-, Photomasken- und anderen Dünnschichtabscheidungsprozessen, bei denen der Dünnfilm bei hohen Temperaturen geätzt oder aschiert werden muss. Der Ätz-/Ascheprozess beginnt mit der Platzierung der dünnen Folie in TEL SCCM Shin Ätz-/Aschereinheit. Diese Maschine besteht aus einer Reaktorkammer, die mit einer Gaseinlaß-, -auslaß- und -innengasvorrichtung zur Steuerung von Gas und Temperatur in der Kammer ausgestattet ist. Der dünne Film wird dann bei Temperaturen von 400 bis 500 Grad Celsius einem Gemisch aus Sauerstoff, Stickstoff und anderen Gasen ausgesetzt. Die Energie wird dann der Reaktionskammer des Werkzeugs zugeführt, während die Röntgenquelle zum selektiven Ätzen der Dünnfilmschicht verwendet wird. Der Ätz- und Aschevorgang ist extrem kontrolliert und präzise, mit minimaler Substratschädigung und Dünnschichtverdünnung. Die Dünnschichtschicht kann bis zu 15-20 mm dick sein, es ist jedoch auch möglich, dünnere Schichten mit TOKYO ELECTRON SCCM Shin zu ätzen. Darüber hinaus kann dieses Asset eine Vielzahl von Topologien ätzen, wie zum Beispiel einheitliches Ebenenätzen, Stufenschichtätzen oder Mehrschichtätzen. Das Modell hat zwei Arten von Waferunterstützung, manuell und auto. Die manuelle Waferunterstützung ermöglicht es dem Benutzer, den dünnen Film manuell in die Ätzausrüstung zu legen. Andererseits ermöglicht der Auto-Wafer-Träger dem Steuerrechner die automatische Zuführung des Dünnfilms in den Ätzer. Darüber hinaus ist das System mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen wie Übertemperaturschutz, Überdruckschutz und Kohlenstoffüberwachung ausgestattet. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine Vielzahl von Funktionen wie einen automatisierten Rezeptmodus, eine Benutzeroberfläche und ein Prozessprotokoll. Mit seiner hohen Präzision, dem geringen Energieaufwand und der geringen Abfallproduktion ist SCCM Shin Etcher/Asher die perfekte Maschine zum Präzisionsätzen und Aschen von Dünnfilmen.