Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE #9206140 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM TE ist ein einzelnes Wafer-Ätz-/Ascher-Gerät für die Halbleiterherstellung. Das System bietet eine einzelne Quelle für fortgeschrittene Etching/ashing-Prozesse für MEMS, vielfache Oblatenherstellung, MEMS/MMIC/Compound Halbleitergerätherstellung. Es bietet überlegene Prozesskontrolle und einheitliche Ätzergebnisse und dielektrische konforme Beschichtungen Gleichmäßigkeit. Das Gerät verfügt über automatische Prozesssteuerung, In-situ-Überwachung und sequentielle Steuerung des Mustergenerators für verbesserten Waferdurchsatz. TEL SCCM TE wurde entwickelt, um eine hervorragende Plasmabearbeitungsleistung zu bieten und umfasst ICP SiO₂ Etch, HCl Etch, O₂/Ar-Reaktantgase und eine chemisch-mechanische Waferpolierfähigkeit (CMP). Die Maschine ist präzise und wiederholbar und ist mit fortschrittlichen Werkzeugen wie einem hochauflösenden Schaltabstand (HRSD) und Planarisierungswerkzeug zur Planung und Ätzsteuerung, einem Wafer-Rotationsgerät, fortschrittlicher Vorwärts- und Rückwärtsenergieversorgung und Echtzeit-Tankdrucksteuerung für verbesserten Plasmaspikschutz ausgestattet. Darüber hinaus umfasst das Modell eine Sprühheizung und eine innovative selbstreinigende Ausrüstung, um die Auswirkungen von Kontaminationen auf die Oberflächentopographie zu reduzieren. TOKYO ELECTRON SCCM-TE ist mit einem in-situ Faraday-Schild ausgestattet, der es dem System ermöglicht, eine TEL-eigene Linie von resistbelasteten Wafern zu verarbeiten, die eine Integration mehrerer Prozesse über verschiedene Ätz-/Ascheschritte hinweg ermöglicht. Das Gerät bietet auch eine breite Palette von anpassbaren Verarbeitungsparametern wie Ätzparameter, Ausrichtungsgenauigkeit, dielektrisches Ätzrücken, Substratmuster und Prozessrezepte, um eine leistungsstarke und ertragreiche Produktion zu ermöglichen. Darüber hinaus bietet SCCM-TE erweiterte Automatisierungsfunktionen wie Multi-Rezept-Management, PC-basierte Instrumentierungssteuerung, Wafer-Tracking, GDS/GDSII-Datenmanagement und einen Qualitätskontrollmonitor. Die Maschine ist für den 24/7-Betrieb ausgelegt und bietet überlegene Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit. Integrierte Selbstdiagnose, Remote-Konnektivität und einfache Wartungsfunktionen machen dieses Tool zu einer idealen Wahl für prozessintensive Anwendungen. Das innovative Engineering des Asset wird mit den hochwertigsten Materialien für zuverlässige Leistung unter anspruchsvollen Bedingungen kombiniert. Die Verwendung von vakuumdichten geschweißten Kammern, hochreinen Gassystemen und anderen fortschrittlichen Komponenten gewährleisten eine ausgezeichnete Wiederholbarkeit und Langzeitstabilität. TEL SCCM-TE bietet höchste Leistung und Benutzerfreundlichkeit für Forschung und Produktion von Halbleiteranwendungen.