Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE #9235809 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE
ID: 9235809
Wafergröße: 12"
Etchers, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON SCCM TE ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der speziell für die Herstellung von hochpräzisen Wafern mit hohem Durchsatz entwickelt wurde. Dieses Werkzeug ist mit einer Reihe von Merkmalen gebaut, um einen präzisen Bearbeitungsprozess zu gewährleisten - beispielsweise verhindert sein Ausgleichsmechanismus, dass sich der Wafer in der Ätzkammer verschiebt, vibriert oder anderweitig beschädigt wird. Zusätzlich schützt die Leistungssteuerung der Maschine die Wafer vor Überätzen. TEL SCCM TE ist mit einem fortschrittlichen Gasförder- und Steuerungsmodul ausgestattet, das eine Multi-Gas-Steuerung ermöglicht. Der Ätzer unterhält eine einzigartige chemische Umgebung in der Substratkammer durch Steuerung der Gaszufuhrmenge, so dass das Ätzen genau durchgeführt werden kann. Darüber hinaus ermöglicht seine schnell wirkende, leistungsstarke Einzelwaferätzquelle dem Ätzer, Strukturen in kurzer Zeit präzise zu ätzen. Die benötigte Prozesszeit kann durch zweistufiges Ätzen minimiert werden. Der Ätzer wird mit einem vollautomatischen Ladearm geliefert, der eine genaue und stabile Be-/Entladung des Wafers gewährleistet. Es hat auch eine Reihe von wirksamen Mechanismen wie ein automatisches Wafer-Reinigungssystem, eine genaue Temperaturkontrolleinheit und eine statische Eliminationsmaschine. Eine Infrarotkamera ist installiert, um subtile Wafer- und Substratprobleme zu erkennen, um sicherzustellen, dass der Wafer korrekt auf das Gerät geladen wird und der Ätzprozess ordnungsgemäß durchgeführt wird. TOKYO ELECTRON SCCM-TE umfasst auch verschiedene Fehlerverhütungs- und Schutzmechanismen. Dazu gehören ein Blitzschutzwerkzeug, eine Alarmanlage, eine Reihe von Sicherheitseinrichtungen und ein Platin-Encoder, der eine präzise Positionierung ermöglicht. Es verfügt auch über ein Brandschutzmodell, das Brände erkennen, warnen und kontrollieren kann. TEL/TOKYO ELECTRON SCCM-TE ist ein innovativer Ätzer/Ascher für die hochvolumige, hochpräzise Waferbearbeitung. Seine fortschrittliche Technologie sorgt für Genauigkeit, Wiederholbarkeit und einen sicheren und effizienten Ätzprozess. Es verfügt über eine Reihe von Funktionen, um die perfekte Ätzumgebung zu gewährleisten, wie eine Leistungssteuerungsausrüstung, ein fortschrittliches Gasliefer- und Steuerungsmodul, einen vollautomatischen Ladearm und verschiedene Fehlerverhütungs- und Schutzmechanismen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor